公开(公告)号：CN110133026B

公开(公告)日：2020-09-04

申请号：CN201910339572.5

申请日：2019-04-25

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 ,  中国科学院大学

Inventor： 董乔 ,  刘志 ,  余毅 ,  毛宝华 ,  蔡军 ,  韩永

IPC: G01N23/2204 ,  G01N23/2273

Abstract: 本发明提供一种用于X射线光电子能谱原位测试的样品托及其应用，该样品托包括：底座、电极基板、电极探针、样品放置台以及绝缘轴承；其中，底座具有圆环状结构；电极基板固定于底座的上方；样品放置台设置于底座的内侧，包括一样品加热衬片；电极探针的一端固定于电极基板上，另一端伸出到样品放置台上；绝缘轴承设置于底座与样品放置台之间；其中，电极探针的一端可连接导线，与电极探针和样品的物理接触构成回路，同时进行电压和电流信号的输入和输出，所加电压和电流强度通过外接仪器控制，实现X射线光电子能谱原位测试。根据本发明提供的样品托可用于特定样品在高温、一定气氛和压强和外加电压或电流条件下的X射线光电子能谱的原位测试。

公开(公告)号：CN110133026A

公开(公告)日：2019-08-16

申请号：CN201910339572.5

申请日：2019-04-25

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 ,  中国科学院大学

Inventor： 董乔 ,  刘志 ,  余毅 ,  毛宝华 ,  蔡军 ,  韩永

IPC: G01N23/2204 ,  G01N23/2273

Abstract: 本发明提供一种用于X射线光电子能谱原位测试的样品托及其应用，该样品托包括：底座、电极基板、电极探针、样品放置台以及绝缘轴承；其中，底座具有圆环状结构；电极基板固定于底座的上方；样品放置台设置于底座的内侧，包括一样品加热衬片；电极探针的一端固定于电极基板上，另一端伸出到样品放置台上；绝缘轴承设置于底座与样品放置台之间；其中，电极探针的一端可连接导线，与电极探针和样品的物理接触构成回路，同时进行电压和电流信号的输入和输出，所加电压和电流强度通过外接仪器控制，实现X射线光电子能谱原位测试。根据本发明提供的样品托可用于特定样品在高温、一定气氛和压强和外加电压或电流条件下的X射线光电子能谱的原位测试。