公开(公告)号：CN119420313A

公开(公告)日：2025-02-11

申请号：CN202411557180.3

申请日：2024-11-04

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 欧欣 ,  陈冰洲 ,  张师斌 ,  郑鹏程 ,  孙米静

IPC: H03H9/17 ,  H03H9/25 ,  H03H9/02 ,  H03H3/02 ,  H03H3/08

Abstract: 本发明公开了一种可重构的声学谐振器及其制备方法，所述声学谐振器包括支撑衬底；位于支撑衬底上的具有凹槽的压电膜；凹槽中设置有发热金属层；位于发热金属层上的第二绝缘介质层；位于压电膜上的第一汇流条、第二汇流条、叉指电极以及相变开关；其中，第一汇流条、第二汇流条相对设置于压电膜的边缘表面；叉指电极设置于第一汇流条与第二汇流条之间，叉指电极包括固定电极以及调谐电极；相变开关的两端均与调谐电极连接。本发明压电膜上的叉指电极通过相变开关与汇流条连接，可以通过控制单元对相变开关进行状态控制，以实现调谐电极的电位可控，从而使得压电膜上的电学条件发生变化，进而实现声学谐振器的频带移动。