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发明公开
超导条带光子探测器件、制备方法及光子探测系统审中-实审

公开(公告)号：CN115468663A

公开(公告)日：2022-12-13

申请号：CN202211280749.7

申请日：2022-10-19

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 杨晓燕 , 郗玲玲 , 李浩 , 尤立星

IPC: G01J11/00

Abstract: 本发明提供一种超导条带光子探测器件、制备方法及光子探测系统，包括：超导纳米线及第一电阻，其中，所述第一电阻并联于所述超导纳米线的两端。本发明的超导条带光子探测器件在偏置电流下，由于并联电阻的分流，在接收光子或干扰后超导纳米线能够由电阻态迅速恢复超导态，不会由于电流过高而一直处于电阻态，导致器件锁死无法工作。且本发明的超导条带光子探测器件的制备方法操作简单，在制作并联电阻时，电子束刻蚀时在图形边缘由原子再沉积而成的侧墙天然成为了连接电阻和纳米线的垂直导线，从而不需要另外再生长连接导线；而纳米线并联电阻，形成恒压源偏置电路，自然达到光子探测无闩锁的目的，成本低，成品率高。

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