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发明公开
超导纳米线单光子探测器及探测装置审中-实审

公开(公告)号：CN119935307A

公开(公告)日：2025-05-06

申请号：CN202510443660.5

申请日：2025-04-10

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 孔令东 , 赵旭 , 李浩 , 尤立星

IPC: G01J1/44 , G01J1/42

Abstract: 本发明提供一种超导纳米线单光子探测器及探测装置，包括：蜿蜒绕设的多个依次级联的探测单元，各探测单元均包括至少2条并联的超导纳米线；其中，相邻拐角在超导纳米线的宽度方向上交错分布，且各拐角在超导纳米线的宽度方向上的尺寸大于探测单元中相邻超导纳米线之间的间距。本发明旨在缓解并联纳米线超导单光子探测器的电流拥挤效应，通过错位放置来扩展拐角设计空间，使探测单元内部拐角曲率半径与填充率解耦，达到缓解高填充率下电流拥挤效应、提高系统探测效率的目的。本发明的设计结构简单且优化效果显著；同时，不需要引入额外制备流程，对薄膜无损伤且工艺鲁棒性强；此外，占用片上面积小，利于集成化设计。

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