公开(公告)号：CN116989890A

公开(公告)日：2023-11-03

申请号：CN202310953374.4

申请日：2023-07-31

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 武震宇 ,  陈浩 ,  胡宇强 ,  刘艺晨 ,  王栎皓

IPC: G01J1/02 ,  G01J1/04 ,  G01J1/16 ,  G01J1/42 ,  G01J1/44

Abstract: 本发明提供一种实现闭环反馈调节的MEMS传感器及激光功率在线测量方法，本发明的MEMS传感器包括基于微纳加工技术制造的传感器芯片和光学组装技术形成的光学耦合模块，实现激光产生的微弱光压力的探测，本发明中的MEMS传感器采用传感镜面和参考镜面集成的差分结构，实现对外界振动共模抑制以提高传感器信噪比；同时，为了保持测量原点的一致性，MEMS传感器采用压电材料组成的压电制动器法珀腔腔长实时闭环反馈调控，始终保持在设定的初始腔长；闭环反馈调控还可以避免镜面震荡，缩短镜面稳定时间，提高测量的响应时间。本发明利用实现闭环反馈调节的MEMS传感器可以实现连续和脉冲激光的功率在线测量，并且结构简单、响应速度快、稳定性高以及测量精度高。