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发明公开
基于微悬臂梁的纳米氧化钒、氧含量调控及制备方法审中-公开

公开(公告)号：CN119976957A

公开(公告)日：2025-05-13

申请号：CN202510303737.9

申请日：2025-03-14

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李明 , 许鹏程 , 李昕欣 , 王赫

IPC: C01G31/02 , B82Y40/00 , B82Y30/00

Abstract: 本发明提供一种基于微悬臂梁的纳米氧化钒、氧含量调控及制备方法，调控方法是采用微悬臂梁的实时监测质量的功能，实现氧化钒前驱体材料中氧含量的精确调控，得出氧化钒前驱体材料氧含量减少量Δm随时间或温度的变化关系；制备方法包括：将氧化钒前驱体材料涂覆于微悬臂梁自由端的样品区域，按照调控方法中Δm随时间或温度的变化关系，通入H2S混合气并通过加热元件的程序控温，实时监测Δm的变化，当Δm达到预设目标值时，制备出目标氧含量的纳米氧化钒。本发明能够精确调控纳米氧化钒的氧含量，实现一系列具有不同氧含量的纳米氧化钒的可控制备，实现纳米氧化钒氧含量的动态监测与精确调控。

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