公开(公告)号：CN101935008A

公开(公告)日：2011-01-05

申请号：CN201010241824.X

申请日：2010-07-30

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李昕欣 ,  许鹏程 ,  于海涛 ,  徐铁刚 ,  李俊刚

IPC: B81C1/00 ,  G01N33/00 ,  G01N33/22

Abstract: 本发明涉及一种利用功能化碳纳米管为敏感材料的微悬臂梁传感器的制造方法，属于微纳传感器领域。特征在于采用多壁碳纳米管为传感器制造原料，经过强酸预处理，使多壁碳纳米管表面形成可功能化修饰的反应活性点。然后依据分子自组装技术，将多壁碳纳米管固定到MEMS传感器的金表面上。最后根据目标检测气体的化学性质(例如氨气和羧基之间以及甲醛和胺基之间都存在着一定的氢键作用等)，通过分子设计，将固定在MEMS传感器金表面的碳纳米管再次进行功能化基团修饰，使其可用于对特定目标气体的检测。

公开(公告)号：CN101935008B

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN201010241824.X

申请日：2010-07-30

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李昕欣 ,  许鹏程 ,  于海涛 ,  徐铁刚 ,  李俊刚

IPC: B81C1/00 ,  G01N33/00 ,  G01N33/22

Abstract: 本发明涉及一种利用功能化碳纳米管为敏感材料的微悬臂梁传感器的制造方法，属于微纳传感器领域。特征在于采用多壁碳纳米管为传感器制造原料，经过强酸预处理，使多壁碳纳米管表面形成可功能化修饰的反应活性点。然后依据分子自组装技术，将多壁碳纳米管固定到MEMS传感器的金表面上。最后根据目标检测气体的化学性质(例如氨气和羧基之间以及甲醛和胺基之间都存在着一定的氢键作用等)，通过分子设计，将固定在MEMS传感器金表面的碳纳米管再次进行功能化基团修饰，使其可用于对特定目标气体的检测。