公开(公告)号：CN101311299B

公开(公告)日：2010-11-17

申请号：CN200810035446.2

申请日：2008-04-01

申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

发明人： 龚谦 ,  王海龙 ,  徐海华

IPC分类号： C23C14/24 ,  C23C14/54 ,  C30B23/02

摘要： 本发明提供一种分子束外延(MBE)技术中测量束源炉中源材料熔化时对应源炉热偶温度的测量方法。其特征在于测定步骤是测量出束源炉升温时的热偶温度—功率曲线；测量出束源炉降温时的热偶温度—功率曲线；将升温时和的热偶温度—功率曲线上源材料开始熔化的对应温度和降温时的热偶温度、功率曲线上源材料开始凝固的对应温度进行比较，从而得出源材料熔化时对应束源炉中热偶的温度。本发明是利用分子束外延设备源炉中源材料在加热熔化和降温凝固过程中功率曲线在熔化与凝固温度附近会出现相应波动的实验现象，通过分析比较波动出现的位置精确定出束源炉中源材料熔化时对应的束源炉中热偶温度数值。所提供的测定方法对MBE技术在实际中的应用具有重要的意义。

公开(公告)号：CN101311299A

公开(公告)日：2008-11-26

申请号：CN200810035446.2

申请日：2008-04-01

申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

发明人： 龚谦 ,  王海龙 ,  徐海华

IPC分类号： C23C14/24 ,  C23C14/54 ,  C30B23/02

摘要： 本发明提供一种分子束外延(MBE)技术中测量束源炉中源材料熔化时对应源炉热偶温度的测量方法。其特征在于测定步骤是测量出束源炉升温时的热偶温度——功率曲线；测量出束源炉降温时的热偶温度——功率曲线；将升温时和的热偶温度——功率曲线上源材料开始熔化的对应温度和降温时的热偶温度、功率曲线上源材料开始凝固的对应温度进行比较，从而得出源材料熔化时对应束源炉中热偶的温度。本发明是利用分子束外延设备源炉中源材料在加热熔化和降温凝固过程中功率曲线在熔化与凝固温度附近会出现相应波动的实验现象，通过分析比较波动出现的位置精确定出束源炉中源材料熔化时对应的束源炉中热偶温度数值。所提供的测定方法对MBE技术在实际中的应用具有重要的意义。