公开(公告)号：CN113406397A

公开(公告)日：2021-09-17

申请号：CN202110802223.X

申请日：2021-07-15

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 徐高卫 ,  周全 ,  任洁 ,  谢晓明

IPC: G01R27/26

Abstract: 本发明提供一种低温固体介电常数测量方法，通过测试装置对具有待测固体介质的平板电容器进行降温，通过电容测量仪测量电容值，以及通过热应力仿真获得形变量，从而结合电容值及形变量，进行数据处理，可获得固体介质层在测试温度下的介电常数。本发明通过原位电容测量与低温形变仿真相结合的方式，可精确测试固体介质层在低温环境下的介电常数，测试方法简便，在低温环境下可行；采用开尔文四探针法测量电容值减小测试误差；通过热应力分析软件进行实体建模仿真分析，可使低温固体介电常数的计算更加准确；通过设计多组不同尺寸规格的平板电容器可得到多组电容值，经过数据处理，可进一步的减小测量误差。

公开(公告)号：CN113406397B

公开(公告)日：2022-07-08

申请号：CN202110802223.X

申请日：2021-07-15

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 徐高卫 ,  周全 ,  任洁 ,  谢晓明

IPC: G01R27/26

Abstract: 本发明提供一种低温固体介电常数测量方法，通过测试装置对具有待测固体介质的平板电容器进行降温，通过电容测量仪测量电容值，以及通过热应力仿真获得形变量，从而结合电容值及形变量，进行数据处理，可获得固体介质层在测试温度下的介电常数。本发明通过原位电容测量与低温形变仿真相结合的方式，可精确测试固体介质层在低温环境下的介电常数，测试方法简便，在低温环境下可行；采用开尔文四探针法测量电容值减小测试误差；通过热应力分析软件进行实体建模仿真分析，可使低温固体介电常数的计算更加准确；通过设计多组不同尺寸规格的平板电容器可得到多组电容值，经过数据处理，可进一步的减小测量误差。