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公开(公告)号:CN118584705A
公开(公告)日:2024-09-03
申请号:CN202410712799.0
申请日:2024-06-04
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种电光调制器及其光芯片、光模块和光通信系统,包括:提供一基底;位于所述基底一侧的绝缘层;位于所述绝缘层中的调制光路;所述调制光路包括输入电极部分和电光调制部分。本发明完美解决现有TFLN调制器单端驱动的技术难点,能够实现更小尺寸,更低成本,更适合未来先进封装演进的光调制器,光模块以及光通信系统,具有良好的应用前景。