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发明公开
一种基于分形电极的碳管气体传感器审中-实审

公开(公告)号：CN116256399A

公开(公告)日：2023-06-13

申请号：CN202310048934.1

申请日：2023-02-01

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 丁鹏飞 , 刘欢 , 贺庆国 , 程建功

IPC: G01N27/12

Abstract: 本发明涉及一种基于分形电极的碳管气体传感器，所述碳管气体传感器包括：分形电极(1,2)，所述分形电极(1,2)沉积在单晶硅片(5)两侧；取向有序的碳纳米管(6)，所述碳纳米管(6)沉积在单晶硅片(5)的两个分形电极(1,2)之间；敏感材料(7)，所述敏感材料(7)和碳纳米管(6)相互复合，作为检测气体的敏感层。本发明提供了一种三维分形电极，碳管可以在分形角的强电场下诱导从而取向有序生长，得到的传感器具有高的迁移率和高的灵敏度。

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