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公开(公告)号：CN118168458A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202410158933.7
申请日：2024-02-04
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B11/02
Abstract: 一种基于积分球的全息位移测量系统与测量方法，系统包括：分束片、聚焦透镜、单模光纤、积分球、精密平移台、第一平面反射镜、第二平面反射镜、相机和信号处理系统，固定在精密平移台上的积分球投射到相机上的散斑图案是由离轴全息记录，获得散斑图案的相位信息，再计算得到其局部波矢量；按预设的移动步长移动精密平移台，得到精密平移台上的积分球在不同位置时的散斑图案全息图，计算其局部波矢量用于位置测量标定。本发明通过积分球产生散斑图案，利用全息技术获得散斑图案的局部波矢量作为探测的标尺，突破装置的光学衍射极限，达到纳米级或者亚纳米级的探测分辨率，为光刻掩模对准、组件的精确定位和变形监测等方面提供了新的技术方案。
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公开(公告)号：CN109164585A
公开(公告)日：2019-01-08
申请号：CN201811019769.2
申请日：2018-09-03
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B27/09
Abstract: 一种基于飞秒赝热光散射波长标定的超快成像装置，构成包括：扩束系统、脉冲赝热光产生系统、脉冲啁啾展宽系统、待测事件发生装置、散射介质、成像透镜、CCD相机和计算机。本发明事先通过散射介质对不同波长赝热光波进行标定，而后通过啁啾赝热脉冲光源对超快过程成像，最后利用解码分离不同波长光信息，将不同时刻的图像提取出来，以实现单发超快成像。该装置结构简单、稳定、可移植性高，仅需单幅图像采集，图像采样率高，具有极高的时间和空间分辨率。
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公开(公告)号：CN116400558A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202310271550.6
申请日：2023-03-20
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于波长‑时间映射的超快成像装置，构成包括：脉冲啁啾展宽系统、超快事件场景、多模光纤束、成像透镜、相机和计算机。其特点在于啁啾脉冲中不同的波长对应不同的时刻，从单次测量的图像中可以获取超快场景的时空信息。本发明首先采集和标定不同波长的光经过多模光纤束的图像，建立多模光纤束的光谱透射矩阵；然后利用啁啾展宽的测量脉冲对超快场景进行成像，经过成像透镜后相机单次曝光采集图像；最后通过空间光谱恢复算法和光谱透射矩阵，从采集的图像中恢复出不同波长对应时刻的图像，实现单次测量的超快成像。该装置具有结构简单、时间分辨率高，只需单次采集的图像，为探测和研究各种超快事件提供一种新的技术方案。
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