公开(公告)号：CN112475613A

公开(公告)日：2021-03-12

申请号：CN202011229792.1

申请日：2020-11-06

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 叶铖润 ,  廖洋 ,  杜昆 ,  高文海 ,  刘科 ,  陈聪 ,  王佳 ,  彭宇杰 ,  冷雨欣 ,  李儒新

IPC: B23K26/362 ,  B23K26/38 ,  B23K26/382

Abstract: 本发明公开了一种水气同轴辅助振镜扫描激光加工装置。该装置通过多个水路和气路同轴的掠入射喷射口，将少量水高速喷射到待加工材料表面。通过调节气压和水流量、增加喷射口数量、或使喷射口左右摆动，在待加工材料表面形成大面积的薄层水膜。激光经由场镜聚焦在水膜覆盖的待加工材料表面上，通过振镜高速扫描进行烧蚀加工。该方法能够有效消除或抑制激光烧蚀中热效应产生的不利影响，减少碎屑堆积，提高激光烧蚀加工的质量和效率。

公开(公告)号：CN112475613B

公开(公告)日：2022-04-05

申请号：CN202011229792.1

申请日：2020-11-06

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 叶铖润 ,  廖洋 ,  杜昆 ,  高文海 ,  刘科 ,  陈聪 ,  王佳 ,  彭宇杰 ,  冷雨欣 ,  李儒新

IPC: B23K26/362 ,  B23K26/38 ,  B23K26/382

Abstract: 本发明公开了一种水气同轴辅助振镜扫描激光加工装置。该装置通过多个水路和气路同轴的掠入射喷射口，将少量水高速喷射到待加工材料表面。通过调节气压和水流量、增加喷射口数量、或使喷射口左右摆动，在待加工材料表面形成大面积的薄层水膜。激光经由场镜聚焦在水膜覆盖的待加工材料表面上，通过振镜高速扫描进行烧蚀加工。该方法能够有效消除或抑制激光烧蚀中热效应产生的不利影响，减少碎屑堆积，提高激光烧蚀加工的质量和效率。

公开(公告)号：CN113292233A

公开(公告)日：2021-08-24

申请号：CN202110684374.X

申请日：2021-06-21

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 陈聪 ,  廖洋 ,  叶铖润 ,  刘科 ,  高文海 ,  王佳 ,  谢少明 ,  冯吉军 ,  彭宇杰 ,  冷雨欣 ,  李儒新

IPC: C03B23/203

Abstract: 一种飞秒激光焊接玻璃的装置和方法，方法包括如下步骤：1)在一片玻璃上滴加少量液体，再叠放另一片玻璃，使液体充满上述待焊接玻璃的间隙，利用大气压力作用使间隙减小；2)将较高单脉冲能量的飞秒激光束聚焦在待焊接两块玻璃的接触面，利用扫描振镜使激光焦点沿封闭路径高速扫描，在两玻璃接触处形成半透明焊缝；3)最后用较低单脉冲能量的飞秒激光束沿上述半透明焊缝慢速扫描，实现最终更牢固的焊接。本发明第一次的高速扫描不仅可以使玻璃间隙均匀减小，避免自然叠放的两片玻璃在焊接过程中发生翘曲变形；还可以在接触界面上预先形成半透明微结构，以增强第二次扫描时的光吸收，扩大熔池体积。本发明可利用飞秒激光实现缝隙较大的玻璃的密封焊接，具有焊接速度快、焊接强度高、工艺稳定可靠、可应用范围广的特点。