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公开(公告)号：CN1195794A
公开(公告)日：1998-10-14
申请号：CN97106366.4
申请日：1997-04-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G03H5/00
Abstract: 一种软X射线非冗余全息术中纳米针孔探头及其制备方法。纳米针孔在X射线非冗余全息术中、X射线扫描显微术和X射线成象显微术以及光盘存储信息中有着重要的应用。本发明采用两种方法制作纳米针孔,一种方法是先在带有制作好小圆胶点的基片表面上镀金膜,利用圆胶点形成小孔,再用电镀法缩孔,另一种方法是利用基片表面的不平整性直接在表面上镀金膜而获得。两种方法均可制得孔径a 200纳米,且孔缘厚度h>50纳米的纳米针孔。
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公开(公告)号：CN1158414A
公开(公告)日：1997-09-03
申请号：CN96116263.5
申请日：1996-02-29
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B11/30
Abstract: 本发明是一种表面微结构检测系统及其检测方法。适用于检测光盘盘基、盘片以及各种基片表面的粗糙度状况，可以给出表面微结构的二维或三维形貌图。在由计算机、数模转换卡、高压放大器、精平移器位置平衡装置、压电陶瓷传感器、显微物镜、干涉头、照明光源、电荷耦合器(CCD)及其它光学元件构成的检测系统中，干涉头为三片板型构置：即由反射片和支撑板构成的参考板、分光板和补偿板所构成。所采用的检测方法是多序列移相操作和反馈式移相控制技术。
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公开(公告)号：CN1030543C
公开(公告)日：1995-12-20
申请号：CN91107496.1
申请日：1991-09-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明是一种互补光束波面检测仪，由于本检测仪采用特制的含有全透射光区和全反射光区的光束分割元件，它将入射光束分割成空间互补的透射和反射两束光，两束光分别被同时连接到差分电路和相加电路上的两探测器接收，再经放大电路到显示系统上，所以它具有测量精度高、用途广的优点。
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公开(公告)号：CN1088313A
公开(公告)日：1994-06-22
申请号：CN92113811.3
申请日：1992-12-17
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B27/00
Abstract: 本发明是一种薄膜分光1∶1折反射式光学系统。它含有两组结构完全相同的消象差折射镜组，薄膜分束器和主反射镜。其中的一消象差折射镜组与主反射镜共光轴，另一消象差折射镜组的光轴垂直于主反射镜光轴，并两组消象差折射镜组以薄膜分束器的中心面为对称面对称地置放。本发明的光学系统主要用于精细图形照相复制，如用于光刻机上。具有工作视场能够充分被利用的优点。
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公开(公告)号：CN1062209A
公开(公告)日：1992-06-24
申请号：CN90102997.1
申请日：1990-12-05
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种用于超净检测的激光尘埃粒子计数器光学探头，由单模He-Ne激光器、激光扩束镜组、具有光通道的集光抛物面反射镜、样气通过光敏区并垂直于激光束的样气通道、后向反射镜、聚光透镜、消杂光光栏、光电倍增管等组成。本发明具有尘埃粒径可测范围大，计数效率高，检测速度快，结构调整方便，受外界环境影响小等特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1008418B
公开(公告)日：1990-06-13
申请号：CN88100715
申请日：1988-02-04
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01S3/23
Abstract: 一种高平均功率固体激光系统，其特点是它由N台激光器，光耦合系统和电子控制系统组成，所说的N台激光器按某种排列固定安装。所说的电子控制系统控制N台激光器的N组闪光灯依次点燃泵浦各自对应的激光介质产生激光，同时控制所说的光耦合系统同步运动，将不同时刻不同激光器发出的激光耦合至一小区域输出，从而获得几百瓦或几千瓦的高平均功率激光。
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公开(公告)号：CN100373712C
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：CN200610024488.7
申请日：2006-03-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01S3/00 , H01S3/08 , H01S3/10 , H01S3/23 , H01S5/00 , H01S5/06 , H01S5/40 , G02F1/35 , G02F1/00
Abstract: 一种用于激光束组束的复合平板腔，是指将两块平面反射镜平行放置，构成一个平板腔；并且在该平板腔内轴线上放置两块与腔轴线的夹角为45°的全同平玻璃板，并且每块玻璃板的一面镀半透膜，另一面镀增透膜；将两激光束准直成横截面积近似相等的两束光，沿腔轴的垂线方向分别投射到镀有半透膜的两块平玻璃板上，两激光束必须处于同一平面内，保证两激光束在平板腔中同一光路中进行多次反射和透射，产生强的耦合，从而获得相干输出。本发明结构简单，不需要使用空间滤波器，便于扩展成大量激光束的相干合成，产生高功率相干输出。
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公开(公告)号：CN1068709C
公开(公告)日：2001-07-18
申请号：CN97106366.4
申请日：1997-04-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01L21/027 , G03F1/16
Abstract: 一种软X射线非冗余全息术中纳米针孔探头及其制备方法。纳米针孔在X射线非冗余全息术中、X射线扫描显微术和X射线成象显微术以及光盘存储信息中有着重要的应用。本发明采用两种方法制作纳米针孔，一种方法是先在带有制作好小圆胶点的基片表面上镀金膜，利用圆胶点形成小孔，再用电镀法缩孔，另一种方法是利用基片表面的不平整性直接在表面上镀金膜而获得。两种方法均可制得孔径α＜200纳米，孔深H＞200纳米，且针孔厚度h＞50纳米的纳米针孔。
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公开(公告)号：CN1038447C
公开(公告)日：1998-05-20
申请号：CN91107468.6
申请日：1991-08-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01J11/00
Abstract: 本发明是一种激光束多种参量测试仪。它由扩束(或缩束)光学系统将激光束光斑尺寸调节到合适的尺寸，用微机控制的二维光束扫描器，使光束截面在单色仪入射狭缝上扫描。单色仪调整到刚好使该波长的激光从出射狭缝射出，由探测器将光束截面上的光强分布逐点显示在微机屏幕上，呈现出三维立体强度分布图。经微机对数据处理，可给出二维激光束强度分布图、等强度分布平面图、激光波长、束腰直径、光束发散角、激光功率、激光亮度等激光束多种参量。
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公开(公告)号：CN1117125A
公开(公告)日：1996-02-21
申请号：CN94112281.6
申请日：1994-08-27
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种用半导体激光产生强照明的方法和系统。它由被照明目标，多个半导体激光器组成的光源和光学系统组成，其特点是所说的光学系统将各个半导体激光器光管的一端成像在被照明目标上，而且像的大小充满被照明面积，组合多个带有光学系统的半导体激光器，使要求被照明的孔径角被半导体激光束充满，并采用场镜使光管匹配。
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