激光分束器栅线垂直度检测装置及检测方法

    公开(公告)号:CN111780721B

    公开(公告)日:2021-11-30

    申请号:CN202010625999.4

    申请日:2020-07-01

    Abstract: 一种激光分束器栅线垂直度检测装置及检测方法,装置包括激光光源、分束镜、反射镜、缩束器、待检测激光分束器、成像系统和图像探测系统。本发明将激光光源分束成检测光和参考光,两束光共同入射待检测激光分束器,可将栅线垂直度情况转换成两束光各自衍射光束组的倾斜图像。通过比较和计算图像探测系统上两束光各自衍射光束组的相对位置,可实现栅线垂直度的非接触式快速检测,并且可进一步计算该垂直度,为激光分束器的制造修正系统提供参考。

    激光分束器栅线垂直度检测装置及检测方法

    公开(公告)号:CN111780721A

    公开(公告)日:2020-10-16

    申请号:CN202010625999.4

    申请日:2020-07-01

    Abstract: 一种激光分束器栅线垂直度检测装置及检测方法,装置包括激光光源、分束镜、反射镜、缩束器、待检测激光分束器、成像系统和图像探测系统。本发明将激光光源分束成检测光和参考光,两束光共同入射待检测激光分束器,可将栅线垂直度情况转换成两束光各自衍射光束组的倾斜图像。通过比较和计算图像探测系统上两束光各自衍射光束组的相对位置,可实现栅线垂直度的非接触式快速检测,并且可进一步计算该垂直度,为激光分束器的制造修正系统提供参考。

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