公开(公告)号：CN105390615A

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：CN201510884083.X

申请日：2015-11-30

Applicant: 中国科学技术大学

Inventor： 李捷妮 ,  李明 ,  尹诗流 ,  王海千

IPC: H01L51/42 ,  H01L51/46

CPC classification number: Y02E10/549 ,  H01L51/4266 ,  H01L51/0037 ,  H01L2251/303

Abstract: 本发明提供了一种紫外光传感器，包括：衬底；设置于所述衬底表面的薄膜，所述薄膜为氧化锌薄膜或掺杂的氧化锌薄膜；设置于所述薄膜表面的氧化锌纳米棒阵列；设置于所述氧化锌纳米棒阵列表面的两个聚(3,4-乙烯二氧噻吩)-聚苯乙烯磺酸膜，所述两个聚(3,4-乙烯二氧噻吩)-聚苯乙烯磺酸膜互不接触。本发明提供的紫外光传感器包括n型的氧化锌纳米棒阵列和两个互不接触的p型聚(3,4-乙烯二氧噻吩)-聚苯乙烯磺酸膜，是一种自驱动双异质结紫外光传感器，这种紫外光传感器灵敏度高、响应时间短、性能稳定，对强度为2.1mW/cm2的365nm的紫外光响应率可达到102量级，响应时间＜1s，光电流不随时间衰减。

公开(公告)号：CN105390615B

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201510884083.X

申请日：2015-11-30

Applicant: 中国科学技术大学

Inventor： 李捷妮 ,  李明 ,  尹诗流 ,  王海千

IPC: H01L51/42 ,  H01L51/46

Abstract: 本发明提供了一种紫外光传感器，包括：衬底；设置于所述衬底表面的薄膜，所述薄膜为氧化锌薄膜或掺杂的氧化锌薄膜；设置于所述薄膜表面的氧化锌纳米棒阵列；设置于所述氧化锌纳米棒阵列表面的两个聚(3,4‑乙烯二氧噻吩)‑聚苯乙烯磺酸膜，所述两个聚(3,4‑乙烯二氧噻吩)‑聚苯乙烯磺酸膜互不接触。本发明提供的紫外光传感器包括n型的氧化锌纳米棒阵列和两个互不接触的p型聚(3,4‑乙烯二氧噻吩)‑聚苯乙烯磺酸膜，是一种自驱动双异质结紫外光传感器，这种紫外光传感器灵敏度高、响应时间短、性能稳定，对强度为2.1mW/cm2的365nm的紫外光响应率可达到102量级，响应时间＜1s，光电流不随时间衰减。