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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110234195B
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN201910649890.1
申请日：2019-07-18
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明公开了一种谐振腔式ECR等离子体源装置以及方法，本发明技术方案在真空谐振腔内设置以天线密封罩，将辐射微波的天线置于该天线密封罩内，可以避免放电天线对所述真空谐振腔内ECR等离子体污染。可以通过所述ECR控制元件调节电子回旋共振所需磁场大小，进一步增加电子密度。本发明技术方案所述装置具有结构简单、电磁波‑等离子体能量耦合效率高的优点，可以产生电子密度高达1012cm‑3量级的等离子体。
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公开(公告)号：CN110234195A
公开(公告)日：2019-09-13
申请号：CN201910649890.1
申请日：2019-07-18
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明公开了一种谐振腔式ECR等离子体源装置以及方法，本发明技术方案在真空谐振腔内设置以天线密封罩，将辐射微波的天线置于该天线密封罩内，可以避免放电天线对所述真空谐振腔内ECR等离子体污染。可以通过所述ECR控制元件调节电子回旋共振所需磁场大小，进一步增加电子密度。本发明技术方案所述装置具有结构简单、电磁波-等离子体能量耦合效率高的优点，可以产生电子密度高达1012cm-3量级的等离子体。
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公开(公告)号：CN110022637A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201910429086.2
申请日：2019-05-22
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: H05H1/00
Abstract: 本申请公开了一种等离子体参数的探测装置及探测系统，其中，所述等离子体参数的探测装置中具有三个探测电极，其中作为参数探针的两个探测电极用于探测待测等离子体的电子和离子，以根据探测的电子和离子获取所述待测等离子体的伏安特性曲线；作为悬浮探针的探测电极用于探测所述待测等离子体的空间电位，并且由于所述绝缘套朝向飞行器外侧的表面以及三个所述探测电极朝向飞行器外侧的表面与所述飞行器表皮形成光滑表面，避免了突出裸露的电极在高速飞行器表面或黑障等特殊区域内容易烧毁的问题，实现了在黑障区域中进行等离子体参数探测的目的。
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公开(公告)号：CN210042342U
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201920745611.7
申请日：2019-05-22
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: H05H1/00
Abstract: 本申请公开了一种等离子体参数的探测装置及探测系统，其中，所述等离子体参数的探测装置中具有三个探测电极，其中作为参数探针的两个探测电极用于探测待测等离子体的电子和离子，以根据探测的电子和离子获取所述待测等离子体的伏安特性曲线；作为悬浮探针的探测电极用于探测所述待测等离子体的空间电位，并且由于所述绝缘套朝向飞行器外侧的表面以及三个所述探测电极朝向飞行器外侧的表面与所述飞行器表皮形成光滑表面，避免了突出裸露的电极在高速飞行器表面或黑障等特殊区域内容易烧毁的问题，实现了在黑障区域中进行等离子体参数探测的目的。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN211792198U
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201921134276.3
申请日：2019-07-18
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: H05H1/46
Abstract: 本实用新型公开了一种谐振腔式ECR等离子体源装置，本实用新型技术方案在真空谐振腔内设置以天线密封罩，将辐射微波的天线置于该天线密封罩内，可以避免放电天线对所述真空谐振腔内ECR等离子体污染。可以通过所述ECR控制元件调节电子回旋共振所需磁场大小，进一步增加电子密度。本实用新型技术方案所述装置具有结构简单、电磁波-等离子体能量耦合效率高的优点，可以产生电子密度高达1012cm-3量级的等离子体。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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