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公开(公告)号：CN117505887A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311427145.5
申请日：2023-10-31
Applicant: 中国科学技术大学苏州高等研究院
Abstract: 本发明公开了一种氧化锌半导体激光增材制造系统及工艺方法，该系统包括飞秒激光器、连续波激光器、光调制组件和显微镜物镜，所述飞秒激光器发出的激光和所述连续波激光器发出的激光经光调制组件能够调制到重叠状态，且两束激光均能进入所述显微镜物镜，所述显微镜物镜上方设有盖玻片，金属/氧化锌墨水滴加在盖玻片上，激光经过物镜聚焦于墨水和盖玻片交界面，实现金属/半导体微纳结构的打印；此外，通过黄光、二色镜和CCD相机进行高效组合，实现加工过程的实时记录。本发明中激光打印半导体的方法，操作过程简单，无需复杂的工艺流程和严苛的洁净室环境，打印的最小特征尺寸
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117505887B
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202311427145.5
申请日：2023-10-31
Applicant: 中国科学技术大学苏州高等研究院
Abstract: 本发明公开了一种氧化锌半导体激光增材制造系统及工艺方法，该系统包括飞秒激光器、连续波激光器、光调制组件和显微镜物镜，所述飞秒激光器发出的激光和所述连续波激光器发出的激光经光调制组件能够调制到重叠状态，且两束激光均能进入所述显微镜物镜，所述显微镜物镜上方设有盖玻片，金属/氧化锌墨水滴加在盖玻片上，激光经过物镜聚焦于墨水和盖玻片交界面，实现金属/半导体微纳结构的打印；此外，通过黄光、二色镜和CCD相机进行高效组合，实现加工过程的实时记录。本发明中激光打印半导体的方法，操作过程简单，无需复杂的工艺流程和严苛的洁净室环境，打印的最小特征尺寸
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公开(公告)号：CN117464183B
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202311572924.4
申请日：2023-11-23
Applicant: 中国科学技术大学苏州高等研究院
IPC: B23K26/342 , B23K26/70 , B81C1/00 , B33Y30/00 , B33Y10/00 , B33Y80/00 , B23K101/40
Abstract: 本发明公开了基于连续激光的功能微电子器件激光增材制造方法及系统，制造方法包括以下两部分：（1）金属导线打印：首先将金属油墨滴加于盖玻片表面，并将其固定于三维纳米定位台和二维自动载物台构成的加工平台；通过声光调制器和射频驱动器调控激光功率，经过水浸显微镜物镜聚焦于墨水中，实现金属导线的打印。（2）半导体打印：将配置好的半导体油墨滴加在金属导线上，把激光焦点定位在金属导线的正下方，借助金属结构单光子吸收产生的局部热量促进半导体油墨的反应。本加工系统将连续激光系统、三维平台系统、光路系统有机集成于一体，仅用单一激光，便可实现功能微电子器件的精准制备，加工精度高，操作流程简单且无需后续烧结退火等操作。
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公开(公告)号：CN117464183A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311572924.4
申请日：2023-11-23
Applicant: 中国科学技术大学苏州高等研究院
IPC: B23K26/342 , B23K26/70 , B81C1/00 , B33Y30/00 , B33Y10/00 , B33Y80/00 , B23K101/40
Abstract: 本发明公开了基于连续激光的功能微电子器件激光增材制造方法及系统，制造方法包括以下两部分：（1）金属导线打印：首先将金属油墨滴加于盖玻片表面，并将其固定于三维纳米定位台和二维自动载物台构成的加工平台；通过声光调制器和射频驱动器调控激光功率，经过水浸显微镜物镜聚焦于墨水中，实现金属导线的打印。（2）半导体打印：将配置好的半导体油墨滴加在金属导线上，把激光焦点定位在金属导线的正下方，借助金属结构单光子吸收产生的局部热量促进半导体油墨的反应。本加工系统将连续激光系统、三维平台系统、光路系统有机集成于一体，仅用单一激光，便可实现功能微电子器件的精准制备，加工精度高，操作流程简单且无需后续烧结退火等操作。
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公开(公告)号：CN106839832A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201710050690.5
申请日：2017-01-23
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明涉及一种用于超临界流体热力循环中的变流道换热器。包括换热器芯体，换热器芯体由至少四对以上的换热板上下重叠组成，每对换热板由冷换热板和热换热板上下重叠组成，并实现交替布置；冷换热板的中部和热换热板的中部均布设有翅片状的变流通道，冷变流通道和热变流通道结构相同，均为喇叭形通道，方向相反；每对换热板中，冷流体在冷换热板上流动，热流体在热换热板上流动，相邻两个翅片间的距离逐渐变大的热变流通道上下重叠对应着相邻两个翅片间的距离逐渐变小的冷变流通道，从而实现提高换热效率。本发明换热器有效减小了压力损失约40%‑60%；改善了超临界流体在换热器中的流动特性，减小了湍流、反向流的形成，有效减小了流动阻力约60%。
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公开(公告)号：CN206540444U
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201720086956.7
申请日：2017-01-23
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本实用新型涉及一种用于超临界流体热力循环中的变流道换热器。包括换热器芯体，换热器芯体由至少四对以上的换热板上下重叠组成，每对换热板由冷换热板和热换热板上下重叠组成，并实现交替布置；冷换热板的中部和热换热板的中部均布设有翅片状的变流通道，冷变流通道和热变流通道结构相同，均为喇叭形通道，方向相反；每对换热板中，冷流体在冷换热板上流动，热流体在热换热板上流动，相邻两个翅片间的距离逐渐变大的热变流通道上下重叠对应着相邻两个翅片间的距离逐渐变小的冷变流通道，从而实现提高换热效率。本实用新型换热器有效减小了压力损失约40%‑60%；改善了超临界流体在换热器中的流动特性，减小了湍流、反向流的形成，有效减小了流动阻力约60%。
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