一种全固态MEMS电场传感器、制备方法及工作方法

    公开(公告)号:CN115308497A

    公开(公告)日:2022-11-08

    申请号:CN202211243986.6

    申请日:2022-10-12

    Abstract: 本公开提供一种全固态MEMS电场传感器、制备方法及工作方法,所述全固态MEMS电场传感器可实现对静态电场/交流电场的检测,对静态电场进行测量时可自动识别电场方向。所述全固态MEMS电场传感器包括一个屏蔽极板、传感极板、屏蔽导线、受控开关、放大器、电容等组件。所述全固态MEMS电场传感器的屏蔽极板、传感极板、屏蔽导线、受控开关、放大器、电容等部件采用包括集成电路工艺在内的MEMS微加工工艺制造。本公开的电场传感器不含有可动部件、不需要激励信号驱动,具有功耗低、结构简单可靠、体积小、功耗低、温度特性好、可批量加工等特点。

    一种全固态MEMS电场传感器及工作方法

    公开(公告)号:CN115840093B

    公开(公告)日:2025-05-27

    申请号:CN202211246179.X

    申请日:2022-10-12

    Abstract: 本发明提供一种全固态MEMS电场传感器及其工作方法,所述全固态MEMS电场传感器可实现对静态电场/交流电场的检测,对静态电场进行测量时可自动识别电场方向。所述全固态MEMS电场传感器包括一个屏蔽极板、传感极板、屏蔽导线、受控开关、放大器、电容等组件。所述全固态MEMS电场传感器的屏蔽极板、传感极板、屏蔽导线、受控开关、放大器、电容等部件采用包括集成电路工艺在内的MEMS微加工工艺制造。本发明的电场传感器不含有可动部件、不需要激励信号驱动,具有功耗低、结构简单可靠、体积小、功耗低、温度特性好、可批量加工等特点。

    一种基于区域加热降湿的烟雾探测系统及方法

    公开(公告)号:CN116486562A

    公开(公告)日:2023-07-25

    申请号:CN202310625816.2

    申请日:2023-05-30

    Abstract: 本发明公开了一种区域加热降湿的多传感器烟雾探测系统及方法,利用具有正温度系数特性的电加热膜在烟雾探测器内进行区域加热,进而降低探测器内部湿度,避免探测器高湿产生的凝露而发生误报警。该技术克服了现有的烟雾传感器在高湿环境中因冷凝影响而极易产生误报的问题。通过检测温度与湿度的信号,计算露点,当温度低于露点温度驱动加热模块工作,降低烟雾传感模块的相对湿度,从而降低高湿冷凝对烟雾传感模块的影响,达到检测的标准。

    一种全固态MEMS电场传感器及工作方法

    公开(公告)号:CN115840093A

    公开(公告)日:2023-03-24

    申请号:CN202211246179.X

    申请日:2022-10-12

    Abstract: 本发明提供一种全固态MEMS电场传感器及其工作方法,所述全固态MEMS电场传感器可实现对静态电场/交流电场的检测,对静态电场进行测量时可自动识别电场方向。所述全固态MEMS电场传感器包括一个屏蔽极板、传感极板、屏蔽导线、受控开关、放大器、电容等组件。所述全固态MEMS电场传感器的屏蔽极板、传感极板、屏蔽导线、受控开关、放大器、电容等部件采用包括集成电路工艺在内的MEMS微加工工艺制造。本发明的电场传感器不含有可动部件、不需要激励信号驱动,具有功耗低、结构简单可靠、体积小、功耗低、温度特性好、可批量加工等特点。

    一种道路冰点温度检测装置及方法

    公开(公告)号:CN119000779A

    公开(公告)日:2024-11-22

    申请号:CN202411114507.X

    申请日:2024-08-14

    Abstract: 本公开的实施例提供一种道路冰点温度检测装置及方法,装置包括:储液腔体,储液腔体用于储存融冰剂溶液;温度检测单元、液位检测单元和溶液参数检测单元,均设置于储液腔体;控制单元,分别与液位检测单元、温度检测单元和溶液参数检测单元电连接;其中,控制单元,用于在温度检测单元检测到的储液腔体所处环境的实际环境温度达到设定温度时控制液位检测单元工作,以测量储液腔体内融冰剂溶液的实际液位;以及,控制单元,还用于在实际液位达到储液腔体的预设液位时控制溶液参数检测单元工作,以测量储液腔体内融冰剂溶液的实际溶液参数;以及,控制单元,还用于根据实际溶液参数和实际环境温度计算融冰剂溶液的冰点温度。

    一种全固态MEMS电场传感器、制备方法及工作方法

    公开(公告)号:CN115308497B

    公开(公告)日:2023-01-31

    申请号:CN202211243986.6

    申请日:2022-10-12

    Abstract: 本公开提供一种全固态MEMS电场传感器、制备方法及工作方法,所述全固态MEMS电场传感器可实现对静态电场/交流电场的检测,对静态电场进行测量时可自动识别电场方向。所述全固态MEMS电场传感器包括一个屏蔽极板、传感极板、屏蔽导线、受控开关、放大器、电容等组件。所述全固态MEMS电场传感器的屏蔽极板、传感极板、屏蔽导线、受控开关、放大器、电容等部件采用包括集成电路工艺在内的MEMS微加工工艺制造。本公开的电场传感器不含有可动部件、不需要激励信号驱动,具有功耗低、结构简单可靠、体积小、功耗低、温度特性好、可批量加工等特点。

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