公开(公告)号：CN116815104A

公开(公告)日：2023-09-29

申请号：CN202310079303.6

申请日：2023-02-08

Applicant: 中国矿业大学

Inventor： 乔江浩 ,  刘燕才 ,  张露露

IPC: C23C4/134 ,  C23C4/10 ,  B22F1/17 ,  A01N59/20 ,  A01N59/16 ,  A01P1/00 ,  A01P3/00 ,  B01J35/00 ,  B01J35/10 ,  B01J23/80

Abstract: 本发明公开了一种ZnO/CuO多孔涂层及其制备方法和应用，属于半导体材料制备技术领域。ZnO/CuO多孔涂层按照以下步骤制备得到：以锌粉为原料，通过化学镀在锌粉表面镀铜，得到Zn@Cu核壳粉末；使用大气等离子喷涂系统，氩气和氢气作为驱动气体，将Zn@Cu核壳粉末作为喷涂原料，送入等离子射流中，制备得到ZnO/CuO多孔涂层。本发明利用高熔点Cu包裹Zn粉，采用大气等离子喷涂射流蒸发Zn，气相沉积ZnO，从而高效地制备出纳米多孔ZnO/CuO涂层。