公开(公告)号：CN104556041A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201510024663.1

申请日：2015-01-16

Applicant: 中国矿业大学

Inventor： 任智铨 ,  汪剑 ,  江利 ,  张腾飞 ,  魏婷

IPC: C01B33/03

Abstract: 本发明公开了一种多晶硅还原炉炉体，所述炉体内设置有3～5层金属隔热板，多层金属隔热板之间通过不锈钢螺栓连接固定在一起，再以螺栓连接的方式将多层金属隔热板固定到炉体内壁面上。隔热板材质为不锈钢，形状与炉体内壁一致，并且隔热板夹层与炉体内腔相通。本发明的多晶硅还原炉炉体，采用多层金属隔热板罩住多晶硅棒，能大幅度减少热量损失，提高炉体内热能的利用率，解决了现有炉体内壁抛光困难和抛光效果差造成的能量浪费的问题，以较低的电能和易操作的技术降低多晶硅的生产成本。

公开(公告)号：CN104556041B

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201510024663.1

申请日：2015-01-16

Applicant: 江苏省特种设备安全监督检验研究院 ,  中国矿业大学

Inventor： 任智铨 ,  汪剑 ,  江利 ,  张腾飞 ,  魏婷

IPC: C01B33/03

Abstract: 本发明公开了一种多晶硅还原炉炉体，所述炉体内设置有3～5层金属隔热板，多层金属隔热板之间通过不锈钢螺栓连接固定在一起，再以螺栓连接的方式将多层金属隔热板固定到炉体内壁面上。隔热板材质为不锈钢，形状与炉体内壁一致，并且隔热板夹层与炉体内腔相通。本发明的多晶硅还原炉炉体，采用多层金属隔热板罩住多晶硅棒，能大幅度减少热量损失，提高炉体内热能的利用率，解决了现有炉体内壁抛光困难和抛光效果差造成的能量浪费的问题，以较低的电能和易操作的技术降低多晶硅的生产成本。