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公开(公告)号：CN104457730B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201410850412.4
申请日：2014-12-31
申请人： 哈尔滨工程大学 , 中国电子科技集团公司第四十九研究所
IPC分类号： G01C19/62
摘要： 一种微结构核磁共振陀螺仪，属于原子传感器领域。为了解决现有的核磁共振陀螺仪测量范围小、体积大不适用微结构惯导系统问题。所述陀螺仪包括微结构原子气室和核磁共振陀螺仪功能外壳；所述核磁共振陀螺仪功能外壳内的前侧和后侧分别设置有第一光源和第一光电探测器，所述核磁共振陀螺仪功能外壳内的左侧和右侧分别设置有第二光源和第二光电探测器，第一光源和第一光电探测器、第二光源和第二光电探测器形成的光路在前后与左右两个方向成正交结构，所述微结构原子气室位于核磁共振陀螺仪功能外壳的底部中心位置，且所述中心位置为所述正交结构的交点处。本发明用于惯性导航定位系统中。
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公开(公告)号：CN104457729B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201410850404.X
申请日：2014-12-31
申请人： 中国电子科技集团公司第四十九研究所
摘要： 核磁共振陀螺仪敏感探测单元及该单元的制造方法，涉及属于原子传感器领域。本发明是为了解决现有的敏感探测单元精度低，不能满足核磁共振陀螺仪要求的问题。本发明所述的核磁共振陀螺仪敏感探测单元及该单元的制造方法，主体结构由3D打印技术打印完成，直接限定了各个元件的位置，VCSEL激光器发出的激光经起偏器起偏，然后经小焦距准直透镜准直，再经过1/4波片调整偏振态后射入核磁共振气室中，原子气室中的碱金属原子与惰性气体原子首先由泵浦光抽运至激发态，核磁共振气室的出射光射向光电探测器的光敏面，完成核磁共振信号的探测。适用于研制微结构核磁共振陀螺仪系统。
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公开(公告)号：CN104457729A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410850404.X
申请日：2014-12-31
申请人： 中国电子科技集团公司第四十九研究所
摘要： 核磁共振陀螺仪敏感探测单元及该单元的制造方法，涉及属于原子传感器领域。本发明是为了解决现有的敏感探测单元精度低，不能满足核磁共振陀螺仪要求的问题。本发明所述的核磁共振陀螺仪敏感探测单元及该单元的制造方法，主体结构由3D打印技术打印完成，直接限定了各个元件的位置，VCSEL激光器发出的激光经起偏器起偏，然后经小焦距准直透镜准直，再经过1/4波片调整偏振态后射入核磁共振气室中，原子气室中的碱金属原子与惰性气体原子首先由泵浦光抽运至激发态，核磁共振气室的出射光射向光电探测器的光敏面，完成核磁共振信号的探测。适用于研制微结构核磁共振陀螺仪系统。
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公开(公告)号：CN104457730A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410850412.4
申请日：2014-12-31
申请人： 中国电子科技集团公司第四十九研究所
IPC分类号： G01C19/62
CPC分类号： G01C19/62
摘要： 一种微结构核磁共振陀螺仪，属于原子传感器领域。为了解决现有的核磁共振陀螺仪测量范围小、体积大不适用微结构惯导系统问题。所述陀螺仪包括微结构原子气室和核磁共振陀螺仪功能外壳；所述核磁共振陀螺仪功能外壳内的前侧和后侧分别设置有第一光源和第一光电探测器，所述核磁共振陀螺仪功能外壳内的左侧和右侧分别设置有第二光源和第二光电探测器，第一光源和第一光电探测器、第二光源和第二光电探测器形成的光路在前后与左右两个方向成正交结构，所述微结构原子气室位于核磁共振陀螺仪功能外壳的底部中心位置，且所述中心位置为所述正交结构的交点处。本发明用于惯性导航定位系统中。
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公开(公告)号：CN104891431A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510212065.7
申请日：2015-04-25
申请人： 中国电子科技集团公司第四十九研究所
摘要： 一种微型碱金属原子气室单元的制备方法，本发明属于微机电系统领域，它为了解决现有无法向微型碱金属原子气室内精确注入碱金属元素以及大量残留物干扰的问题。本发明微型碱金属原子气室单元的制备方法首先在硅片上光刻出单个气室单元，沉积二氧化硅层和氮化硅层，涂抹光刻胶后光刻处理打开硅片窗口，然后制备活化的微原子气室框架基片，将基片与玻璃片进行键合，使用沉积装置在硅—玻璃半气室中蒸镀叠氮化铯膜，再在硅—玻璃半气室的上表面键合第二片玻璃片，最后紫外线灯照射加热使单质铯汽化，得到微型碱金属原子气室单元。本发明采用叠氮化铯分解方法，不会产生残余物质，并能实现对叠氮化铯注入量的精确控制。
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