公开(公告)号：CN114252397A

公开(公告)日：2022-03-29

申请号：CN202111614583.3

申请日：2021-12-27

Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所

Inventor： 武艳青 ,  杨红伟 ,  李丰 ,  王英顺 ,  车相辉 ,  程义涛 ,  封嘉纯 ,  崔绍晖 ,  张维会 ,  刘雨佳 ,  黄乐乐 ,  张晓松 ,  张向立

IPC: G01N21/01 ,  G01N21/55 ,  G01N21/84

Abstract: 本发明提供一种增透膜剩余反射率测试陪片。该陪片为单面抛光片；陪片对测试波长的吸收系数大于40每厘米；陪片的材料是掺杂浓度大于1.9*1018每立方厘米的N型掺杂材料。本发明能够通过采用对激光器芯片相应波段具有强吸收作用的材料作陪片，降低了陪片背面的反射光强度，减小了背面反射光对正面反射光的干涉作用，减小了剩余反射率测试曲线的抖动，提高了增透膜剩余反射率测试精度。

公开(公告)号：CN114252397B

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN202111614583.3

申请日：2021-12-27

Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所

Inventor： 武艳青 ,  杨红伟 ,  李丰 ,  王英顺 ,  车相辉 ,  程义涛 ,  封嘉纯 ,  崔绍晖 ,  张维会 ,  刘雨佳 ,  黄乐乐 ,  张晓松 ,  张向立

IPC: G01N21/01 ,  G01N21/55 ,  G01N21/84

Abstract: 本发明提供一种增透膜剩余反射率测试陪片。该陪片为单面抛光片；陪片对测试波长的吸收系数大于40每厘米；陪片的材料是掺杂浓度大于1.9*1018每立方厘米的N型掺杂材料。本发明能够通过采用对激光器芯片相应波段具有强吸收作用的材料作陪片，降低了陪片背面的反射光强度，减小了背面反射光对正面反射光的干涉作用，减小了剩余反射率测试曲线的抖动，提高了增透膜剩余反射率测试精度。