一种测试模块和测试装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119395493A

    公开(公告)日:2025-02-07

    申请号:CN202411541402.2

    申请日:2024-10-31

    Abstract: 本申请提供了一种测试模块和测试装置,电容组件和开关组件均位于框架组件内部,且电容组件和开关组件与被测半导体器件连接。其中,开关组件包括保护开关,保护开关与电容组件连接。直流脉冲电容放电过程中,保护开关可以对电容组进行过压保护,能够避免对被测半导体器件和测试模块造成损坏。也就是说,本申请提供的测试模块可靠性高。开关母排按照器件连接方式和布局,回路距离短,往返叠加的寄生电感较低,自身杂散电感低,有效解决了高电流变化率情况下寄生电感产生电压及电流过冲的问题。使得开关母排不仅具备满足要求的耐压绝缘和散热要求,还可有效改善关断电压尖峰、电压电流波形畸变等问题,减小了对被测半导体器件的电压应力。

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