表面处理装置及方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114808449A

    公开(公告)日:2022-07-29

    申请号:CN202111283616.0

    申请日:2021-11-01

    Abstract: 本发明提供了一种表面处理装置及方法。该装置包括:第一导向辊、第二导向辊、等离子体处理装置和气相接枝处理装置;第一导向辊和第二导向辊间隔设置,第一导向辊传送待处理材料,第二导向辊传送处理后的待处理材料;等离子体处理装置和气相接枝处理装置间隔地设置于第一导向辊和第二导向辊之间;等离子体处理装置靠近第一导向辊以对待处理材料进行等离子处理;气相接枝处理装置靠近第二导向辊以对等离子处理后的待处理材料进行气相接枝聚合处理。本发明中,等离子处理后能够在待处理材料表面进行刻蚀,再与气体接枝反应物进行聚合处理,有效延长了刻蚀的改性效果,提高了表面性能,获得了长期的改性效果,并能使得待处理材料保持干燥状态。

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