一种用于锆合金包壳上涂层的制备方法

    公开(公告)号:CN109943811A

    公开(公告)日:2019-06-28

    申请号:CN201910270332.4

    申请日:2019-04-04

    Abstract: 本发明公开了一种用于锆合金包壳上涂层的制备方法,解决了现有涂层的制备方法均存在各自缺陷的问题。本发明在涂层制备工艺上采用了真空电弧离子镀与磁控溅射离子镀相结合的方法。本发明首先采用真空电弧离子镀的方法在锆合金包壳上沉积涂层,以提高镀膜速率以及膜基结合力;然后,同时进行真空电弧离子镀沉积和磁控溅射离子镀沉积,生成致密的中间层,提高表面平整度;最后,单独采用磁控溅射离子镀继续沉积涂层,以获得致密精细的表层组织,达到降低涂层表面粗糙度、降低摩擦系数的效果。

    一种用于锆合金包壳上涂层的制备方法

    公开(公告)号:CN109943811B

    公开(公告)日:2020-12-29

    申请号:CN201910270332.4

    申请日:2019-04-04

    Abstract: 本发明公开了一种用于锆合金包壳上涂层的制备方法,解决了现有涂层的制备方法均存在各自缺陷的问题。本发明在涂层制备工艺上采用了真空电弧离子镀与磁控溅射离子镀相结合的方法。本发明首先采用真空电弧离子镀的方法在锆合金包壳上沉积涂层,以提高镀膜速率以及膜基结合力;然后,同时进行真空电弧离子镀沉积和磁控溅射离子镀沉积,生成致密的中间层,提高表面平整度;最后,单独采用磁控溅射离子镀继续沉积涂层,以获得致密精细的表层组织,达到降低涂层表面粗糙度、降低摩擦系数的效果。

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