一种感应等离子热解硅烷制备纳米硅粉的方法

    公开(公告)号:CN114031082A

    公开(公告)日:2022-02-11

    申请号:CN202111579320.3

    申请日:2021-12-22

    摘要: 本发明公开了一种感应等离子热解硅烷制备纳米硅粉的方法,步骤为:将工作气体在感应等离子反应器中激发形成稳定的高温等离子体,将气体硅烷与稀释气体混合注入高温等离子体热场中,气体硅烷在高温等离子体热场的热气流高温循环冷却气流的共同作用下分解,热解生成的硅原子经过冷却后凝结成纳米尺度的球形硅粉;裹挟硅粉的气流经过滤器过滤,纳米硅粉沉积在过滤器表面,然后通过周期性反吹气流吹落,收集得到纳米硅粉。本发明以硅烷气体作为原料,采用感应等离子体作为主要热源,普通加热管为辅助热源,具有热分解率高、无电极污染、可长时间连续生产的优点。所制备的纳米硅粉纯度高、球形度高、粒度分布窄、流动性好,具备很高的品质。