公开(公告)号：CN113739693A

公开(公告)日：2021-12-03

申请号：CN202111039361.3

申请日：2021-09-06

Applicant: 中国工程物理研究院总体工程研究所

Inventor： 王飞 ,  莫与明 ,  温宇 ,  杜鹏程 ,  马驰 ,  张成

IPC: G01B7/34

Abstract: 本发明公开了一种基于电容法的柔性空心球型粗糙度测头，包括柔性空心球体、柔性电极板；柔性电极板设置在空心球体的表面上，柔性电极板与电容测试仪器电连接。本发明中采用柔性电极板制作传感器极板，并设置虚地层，在使用自平衡桥原理的商用仪器来测试电容值时，可以控制寄生电容的影响，提高电容值测试精度；采用柔性空心球体来按压测头电极贴合被测工件，由于性空心球体在接触按压的过程中，存在中心鼓翘的特点，因此存在最佳贴合情况，通过仪器自动记录判断接触过程中，最佳贴合情况的电容值，可以最大保证标定操作与实际测量操作过程的接触状态的一致性，进而提高测试精度。

公开(公告)号：CN113739693B

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN202111039361.3

申请日：2021-09-06

Applicant: 中国工程物理研究院总体工程研究所

Inventor： 王飞 ,  莫与明 ,  温宇 ,  杜鹏程 ,  马驰 ,  张成

IPC: G01B7/34

Abstract: 本发明公开了一种基于电容法的柔性空心球型粗糙度测头，包括柔性空心球体、柔性电极板；柔性电极板设置在空心球体的表面上，柔性电极板与电容测试仪器电连接。本发明中采用柔性电极板制作传感器极板，并设置虚地层，在使用自平衡桥原理的商用仪器来测试电容值时，可以控制寄生电容的影响，提高电容值测试精度；采用柔性空心球体来按压测头电极贴合被测工件，由于性空心球体在接触按压的过程中，存在中心鼓翘的特点，因此存在最佳贴合情况，通过仪器自动记录判断接触过程中，最佳贴合情况的电容值，可以最大保证标定操作与实际测量操作过程的接触状态的一致性，进而提高测试精度。