公开(公告)号：CN112578426B

公开(公告)日：2022-09-20

申请号：CN202011349599.1

申请日：2020-11-26

申请人： 中国工程物理研究院应用电子学研究所

发明人： 王腾钫 ,  孙利民 ,  黄华 ,  刘振帮 ,  李士锋 ,  何琥 ,  金晓 ,  林嘉文 ,  向启帆 ,  刘良

IPC分类号： G01T1/29

摘要： 本发明公开了一种可调节型阵列式法拉第筒，包括外筒，外筒内依次设置有绝缘支架、绝缘支撑盘和SMA接头，绝缘支架远离绝缘支撑盘的一侧设置有用于收集束流的束流前端收集体，束流前端收集体为多个，且环形间隔阵列在绝缘支架内，绝缘支撑盘靠近绝缘支架的一侧设置有用于收集剩下束流的束流末端收集体，束流末端收集体通过导体支撑杆接地，束流前端收集体通过测量电阻组件与SMA接头连接，SMA接头用于连接示波器。束流前端收集体为多个，通过比较分析多路束流值，可得出环形阴极结构电子束的均匀性或多注结构对应注数电子束的束流大小，同时束流后端收集体收集多余电子束，可延长法拉第筒使用寿命和提高测量准确性。

公开(公告)号：CN112578426A

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：CN202011349599.1

申请日：2020-11-26

申请人： 中国工程物理研究院应用电子学研究所

发明人： 王腾钫 ,  孙利民 ,  黄华 ,  刘振帮 ,  李士锋 ,  何琥 ,  金晓 ,  林嘉文 ,  向启帆 ,  刘良

IPC分类号： G01T1/29

摘要： 本发明公开了一种可调节型阵列式法拉第筒，包括外筒，外筒内依次设置有绝缘支架、绝缘支撑盘和SMA接头，绝缘支架远离绝缘支撑盘的一侧设置有用于收集束流的束流前端收集体，束流前端收集体为多个，且环形间隔阵列在绝缘支架内，绝缘支撑盘靠近绝缘支架的一侧设置有用于收集剩下束流的束流末端收集体，束流末端收集体通过导体支撑杆接地，束流前端收集体通过测量电阻组件与SMA接头连接，SMA接头用于连接示波器。束流前端收集体为多个，通过比较分析多路束流值，可得出环形阴极结构电子束的均匀性或多注结构对应注数电子束的束流大小，同时束流后端收集体收集多余电子束，可延长法拉第筒使用寿命和提高测量准确性。