一种激光器环境参数采集装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117346840A

    公开(公告)日:2024-01-05

    申请号:CN202311347319.7

    申请日:2023-10-18

    Abstract: 本发明涉及一种激光器环境参数采集装置,属于洁净工程环境参数采集技术领域,包括壳体,壳体上设有进气管以及回气管,壳体的内部设有参数测量腔以及取样泵,参数测量腔设为密封结构,其内部设有若干个参数测量传感器,参数测量腔的进气端与进气管连通,取样泵位于参数测量腔的外侧,取样泵的进气端与参数测量腔的出气端通过连接管路连接,取样泵的出气端与回气管连通,连接管路上设有洁净度传感器,本发明能够解决现有技术中环境参数监测设备监测参数单一,结构庞大,重量大的技术问题。

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