一种激光剥蚀系统中气溶胶提取装置及方法

    公开(公告)号:CN117388351B

    公开(公告)日:2024-06-25

    申请号:CN202311459744.5

    申请日:2023-11-03

    Abstract: 本发明公开了一种气溶胶提取装置,包括与激光剥蚀池连通的不锈钢提取管,所述激光剥蚀池设置有真空度调节组件和真空度监测组件,所述不锈钢提取管与文丘里管连接,通过文丘里效应产生的低压提取气溶胶。摆脱了对昂贵氦气的依赖,激光与物质相互作用是在一个低压环境下进行,低压更有利于形成细小的气溶胶颗粒,进而提升气溶胶颗粒的传输效率和电离效率。

    一种激光剥蚀系统中气溶胶提取装置及方法

    公开(公告)号:CN117388351A

    公开(公告)日:2024-01-12

    申请号:CN202311459744.5

    申请日:2023-11-03

    Abstract: 本发明公开了一种气溶胶提取装置,包括与激光剥蚀池连通的不锈钢提取管,所述激光剥蚀池设置有真空度调节组件和真空度监测组件,所述不锈钢提取管与文丘里管连接,通过文丘里效应产生的低压提取气溶胶。摆脱了对昂贵氦气的依赖,激光与物质相互作用是在一个低压环境下进行,低压更有利于形成细小的气溶胶颗粒,进而提升气溶胶颗粒的传输效率和电离效率。

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