公开(公告)号：CN1270871C

公开(公告)日：2006-08-23

申请号：CN03105134.0

申请日：2003-03-05

Applicant: 中国地质大学(北京)

Inventor： 韩勇 ,  李钒 ,  熊明

IPC: B24B9/16 ,  C23F4/00 ,  H01J37/305

Abstract: 本发明属于离子束加工的领域，特别涉及改善金刚石表面光洁度的反应轰击方法。采用高能离子束轰击金刚石表面，气体为氧气或氩气和氧气。高能离子与金刚石表面原子发生碰撞与反应、金刚石表面原子能量增大到高于该原子的逸出功时，便飞离其表面，这样就使金刚石表面不断失去原子，其利用的是碰撞与化学反应双重作用，而不仅仅是机械冲刷作用，大大提高抛光的速度。本发明具有工艺简单、重复性好，大面积均匀，易于操作控制和推广应用。本发明特点是利用离子轰击与化学反应进行抛光，提高金刚石表面光洁度，使金刚石表面亮度增强。

公开(公告)号：CN1815162A

公开(公告)日：2006-08-09

申请号：CN200510011289.8

申请日：2005-01-31

Applicant: 中国地质大学(北京)

Inventor： 韩勇 ,  魏然 ,  李池

IPC: G01N1/28 ,  B01J19/08 ,  H01J37/305 ,  H01J37/34

Abstract: 本发明属于高能离子束加工领域，特别涉及采用轰击反应法快速减薄透射电镜样品技术。本发明的方法采用高能离子束喷溅减薄样品表面，高能离子与样品表面原子发生碰撞与反应，使样品减薄均匀，速度快、薄区大(几十～几百微米范围)，利于进行透射电子显微镜直接观察其内部结构信息。本发明具有工艺简单、重复性好，大面积薄区，易于操作控制和推广应用。本发明特点是兼备轰击减薄与反应减薄的双重作用，减薄样品无应力无机械损伤，减薄样品时速度快、效率高，制备出的减薄样品质量高。

公开(公告)号：CN1526515A

公开(公告)日：2004-09-08

申请号：CN03105134.0

申请日：2003-03-05

Applicant: 中国地质大学(北京)

Inventor： 韩勇 ,  李钒 ,  熊明

IPC: B24B9/16 ,  C23F4/00 ,  H01J37/305

Abstract: 本发明属于离子束加工的领域，特别涉及改善金刚石表面光洁度的反应轰击方法。采用高能离子束轰击金刚石表面，气体为氧气或氩气和氧气。高能离子与金刚石表面原子发生碰撞与反应、金刚石表面原子能量增大到高于该原子的逸出功时，便飞离其表面，这样就使金刚石表面不断失去原子，其利用的是碰撞与化学反应双重作用，而不仅仅是机械冲刷作用，大大提高抛光的速度。本发明具有工艺简单、重复性好，大面积均匀，易于操作控制和推广应用。本发明特点是利用离子轰击与化学反应进行抛光，提高金刚石表面光洁度，使金刚石表面亮度增强。