公开(公告)号：CN104051100A

公开(公告)日：2014-09-17

申请号：CN201410287126.1

申请日：2014-06-23

Applicant: 中国地质大学(北京)

Inventor： 彭志坚 ,  苏海霞 ,  符秀丽

IPC: H01C17/12 ,  C23C14/35 ,  C23C14/08

Abstract: 本发明涉及一种氧化钛多层薄膜压敏电阻器及其制备方法，属于电子信息材料制备及其应用技术领域。本发明采用非化学计量比的烧结TiOm作为基质靶材，其他金属或其氧化物为掺杂靶材，通过射频磁控溅射，在载气作用下，在表面平整光洁的导电基片上，制备得到以TiOy-TiOx-TiOy(y＞x)三明治结构为基本单元的薄膜压敏电阻器。用该法制备所述薄膜压敏电阻，沉积条件严格可控、工艺重复性好，可在大面积基片上获得厚度均匀的薄膜。压敏电阻器非线性性能优异、压敏电压可控，特别适合大规模或超大规模集成电路的过压保护，如在电源系统、通讯系统、安防系统、电动机保护、汽车电子系统、家用电器等方面有广泛的应用前景。

公开(公告)号：CN104051100B

公开(公告)日：2017-05-03

申请号：CN201410287126.1

申请日：2014-06-23

Applicant: 中国地质大学(北京)

Inventor： 彭志坚 ,  苏海霞 ,  符秀丽

IPC: H01C17/12 ,  C23C14/35 ,  C23C14/08

Abstract: 本发明涉及一种氧化钛多层薄膜压敏电阻器及其制备方法，属于电子信息材料制备及其应用技术领域。本发明采用非化学计量比的烧结TiOm作为基质靶材，其他金属或其氧化物为掺杂靶材，通过射频磁控溅射，在载气作用下，在表面平整光洁的导电基片上，制备得到以TiOy‑TiOx‑TiOy(y＞x)三明治结构为基本单元的薄膜压敏电阻器。用该法制备所述薄膜压敏电阻，沉积条件严格可控、工艺重复性好，可在大面积基片上获得厚度均匀的薄膜。压敏电阻器非线性性能优异、压敏电压可控，特别适合大规模或超大规模集成电路的过压保护，如在电源系统、通讯系统、安防系统、电动机保护、汽车电子系统、家用电器等方面有广泛的应用前景。