公开(公告)号：CN102323170A

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN201110161565.4

申请日：2011-06-16

Applicant: 中国地质大学(北京)

Inventor： 于翔 ,  华敏奇 ,  周海 ,  马磊 ,  宁振武 ,  秦月 ,  王成彪

IPC: G01N3/42 ,  G01N3/02

Abstract: 本发明公开了一种超硬金刚石薄膜力学性能的测试方法，所述测试方法为采用微米压痕法测量金刚石薄膜的硬度和弹性模量；利用自动加载机构对金刚石薄膜连续施加数N至上千N范围的载荷，通过人造金刚石压头将连续载荷施加至金刚石薄膜表面，压入深度控制在1/10-1/15膜厚范围内，通过位移传感器和计算机处理得到材料的载荷-深度曲线，再按设定的卸载速率得到卸载时的载荷-深度曲线，将两组数据经过计算得到材料的弹性模量及硬度。本发明采用微米压痕法测量金刚石薄膜的硬度和弹性模量；利用廉价的金刚石压头代替昂贵的镀金刚石膜压针，降低了实验的成本，减少了实验误差，并能满足对厚金刚石膜的硬度、弹性模量及膜基结合力的测量要求。

公开(公告)号：CN102323170B

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：CN201110161565.4

申请日：2011-06-16

Applicant: 中国地质大学(北京) ,  兰州微纳仪器科技有限公司

Inventor： 于翔 ,  华敏奇 ,  周海 ,  马磊 ,  宁振武 ,  秦月 ,  王成彪

IPC: G01N3/42 ,  G01N3/02

Abstract: 本发明公开了一种超硬金刚石薄膜力学性能的测试方法，所述测试方法为采用微米压痕法测量金刚石薄膜的硬度和弹性模量；利用自动加载机构对金刚石薄膜连续施加数N至上千N范围的载荷，通过人造金刚石压头将连续载荷施加至金刚石薄膜表面，压入深度控制在1/10-1/15膜厚范围内，通过位移传感器和计算机处理得到材料的载荷-深度曲线，再按设定的卸载速率得到卸载时的载荷-深度曲线，将两组数据经过计算得到材料的弹性模量及硬度。本发明采用微米压痕法测量金刚石薄膜的硬度和弹性模量；利用廉价的金刚石压头代替昂贵的镀金刚石膜压针，降低了实验的成本，减少了实验误差，并能满足对厚金刚石膜的硬度、弹性模量及膜基结合力的测量要求。