公开(公告)号：CN115493503B

公开(公告)日：2025-03-04

申请号：CN202211305256.4

申请日：2022-10-24

Applicant: 中南民族大学

Inventor： 邱学军 ,  王涵 ,  郭旖 ,  田欣野 ,  曹振洲

IPC: G01B11/02

Abstract: 本发明公开了基于激光偏振干涉的纳米位移实时测量系统，包括红外激光器、第一偏振片、可变光阑、第一偏振分光棱镜、第一1/4波片、可移动平面反射镜、第二1/4波片、固定平面反射镜、第三1/4波片、消偏振分光棱镜、第二偏振片、第二偏振分光棱镜、第一光电探测器、第二光电探测器、第三光电探测器，数据采集卡以及上位机，本发明还公开了基于激光偏振干涉的纳米位移实时测量方法，本发明利用单频激光实现了结构简单和低成本的纳米位移实时测量，克服了传统双频激光干涉仪结构复杂和成本高的问题。同时通过判断偏振态的旋转方向实现位移辨向，解决了传统单频激光干涉仪无法分辨被测物来回振动的困境。

公开(公告)号：CN115493503A

公开(公告)日：2022-12-20

申请号：CN202211305256.4

申请日：2022-10-24

Applicant: 中南民族大学

Inventor： 邱学军 ,  王涵 ,  郭旖 ,  田欣野 ,  曹振洲

IPC: G01B11/02

Abstract: 本发明公开了基于激光偏振干涉的纳米位移实时测量系统，包括红外激光器、第一偏振片、可变光阑、第一偏振分光棱镜、第一1/4波片、可移动平面反射镜、第二1/4波片、固定平面反射镜、第三1/4波片、消偏振分光棱镜、第二偏振片、第二偏振分光棱镜、第一光电探测器、第二光电探测器、第三光电探测器，数据采集卡以及上位机，本发明还公开了基于激光偏振干涉的纳米位移实时测量方法，本发明利用单频激光实现了结构简单和低成本的纳米位移实时测量，克服了传统双频激光干涉仪结构复杂和成本高的问题。同时通过判断偏振态的旋转方向实现位移辨向，解决了传统单频激光干涉仪无法分辨被测物来回振动的困境。