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发明公开
一种含钌溅射靶材废料的回收方法及装置审中-实审

公开(公告)号：CN117904438A

公开(公告)日：2024-04-19

申请号：CN202311705216.3

申请日：2023-12-12

Applicant: 中南大学

Inventor： 李明钢 , 汪根深 , 杨清源 , 田庆华 , 郭学益

IPC: C22B7/00 , C22B1/00 , C22B11/02 , C25C1/20

Abstract: 本发明提供一种含钌溅射靶材废料综合回收方法及装置，所述方法具体包括以下步骤：(1)将含钌溅射靶材废料、捕收剂、FeO源以及造渣剂均匀破碎并混合；(2)将混合物进行熔炼，得到富铂族金属合金、熔渣和烟尘，对烟尘进行冷却，收集烟尘中的粗RuO2、RuO4；(3)将富铂族金属合金进行电解，得到富铂族金属的阳极泥，继续提纯，得到富铂族金属，所述富铂族金属包括钌金属。本发明能够高效收集含钌溅射靶材废料中的钌，同时能够进行含钌溅射靶材废料中其它铂族贵金属的回收再利用，适用于工业废弃物中的有价金属综合循环再生。

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