公开(公告)号：CN112853325A

公开(公告)日：2021-05-28

申请号：CN202110028055.3

申请日：2021-01-11

Applicant: 中南大学

Inventor： 周继承 ,  黄静 ,  廖佳 ,  梁慧玲 ,  徐伟 ,  吕博文

IPC: C23C16/50 ,  C23C16/455

Abstract: 本发明公开一种管式PECVD设备的腔室结构，包括石英炉管，前端法兰组件，尾端法兰组件和补气装置；石英炉管的两端分别与前端法兰组件和后端法兰组件固接；石英炉管内设置有石墨舟；前端固定法兰套接在石英炉管一端外壁；前端进气法兰为环状设置；前端进气法兰内开设有环形腔；前端进气法兰内壁周向等距开设有若干布气孔；布气孔与环形腔连通；前端进气法兰外壁底部连通有进气管；远离进气管的布气孔孔径逐渐增大；石英炉管另一端连通有补气装置；能够实现工艺气体可以快速且均匀的分布在石英炉管内，气流在管内分布的均匀性以及沉积膜的均匀性大幅度的提高。

公开(公告)号：CN113265646A

公开(公告)日：2021-08-17

申请号：CN202110665848.6

申请日：2021-06-16

Applicant: 中南大学

Inventor： 周继承 ,  梁慧玲

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/26

Abstract: 本发明公开一种用于制备大尺寸C/C复合材料的CVD沉积炉装置，包括炉体，炉体内部固定设置有分流板，分流板将炉体内部分为混气室和沉积室，沉积室设置在混气室上方；进气组件包括进气嘴，进气嘴包括固定板以及固定设置在固定板一侧的若干组螺旋片，相邻两组螺旋片之间设置有螺旋通道，固定板的中部开设有进气口，进气口连接有进气管，进气口与螺旋通道连通。本发明通过螺旋状结构的进气嘴对工艺气体进行气体扰动，提高扩散到混气室工艺气体的均匀性，提高后期扩散到沉积室的均匀性。

公开(公告)号：CN215209616U

公开(公告)日：2021-12-17

申请号：CN202121336868.0

申请日：2021-06-16

Applicant: 中南大学

Inventor： 周继承 ,  梁慧玲

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/26

Abstract: 本实用新型公开一种用于制备大尺寸C/C复合材料的CVD沉积炉装置，包括炉体，炉体内部固定设置有分流板，分流板将炉体内部分为混气室和沉积室，沉积室设置在混气室上方；进气组件包括进气嘴，进气嘴包括固定板以及固定设置在固定板一侧的若干组螺旋片，相邻两组螺旋片之间设置有螺旋通道，固定板的中部开设有进气口，进气口连接有进气管，进气口与螺旋通道连通。本实用新型通过螺旋状结构的进气嘴对工艺气体进行气体扰动，提高扩散到混气室工艺气体的均匀性，提高后期扩散到沉积室的均匀性。

公开(公告)号：CN214327881U

公开(公告)日：2021-10-01

申请号：CN202120052323.0

申请日：2021-01-11

Applicant: 中南大学

Inventor： 周继承 ,  黄静 ,  廖佳 ,  梁慧玲 ,  徐伟 ,  吕博文

IPC: C23C16/50 ,  C23C16/455

Abstract: 本实用新型公开一种管式PECVD设备的腔室结构，包括石英炉管，前端法兰组件，尾端法兰组件和补气装置；石英炉管的两端分别与前端法兰组件和后端法兰组件固接；石英炉管内设置有石墨舟；前端固定法兰套接在石英炉管一端外壁；前端进气法兰为环状设置；前端进气法兰内开设有环形腔；前端进气法兰内壁周向等距开设有若干布气孔；布气孔与环形腔连通；前端进气法兰外壁底部连通有进气管；远离进气管的布气孔孔径逐渐增大；石英炉管另一端连通有补气装置；能够实现工艺气体可以快速且均匀的分布在石英炉管内，气流在管内分布的均匀性以及沉积膜的均匀性大幅度的提高。