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发明公开
一种基于视觉的GSG探针平面化方法审中-公开

公开(公告)号：CN120047525A

公开(公告)日：2025-05-27

申请号：CN202510204493.9

申请日：2025-02-24

Applicant: 中南大学

Inventor： 李军辉 , 伍天翔 , 柳小康

IPC: G06T7/62 , G06V10/40 , G06V10/26 , G06F17/10 , G06T7/00

Abstract: 本申请属于精密机械领域，尤其涉及一种基于视觉的GSG探针平面化方法，该GSG探针平面化方法通过机器视觉获取GSG探针针痕面积(像素点个数)，基于不同超程下的针痕比例‑夹角数学模型。在平面化过程中，只需获取GSG探针针痕面积，即可获得GSG探针与晶圆之间的夹角，将其作为GSG探针转动的输入值，从而实现GSG探针平面化。此外，提出的两种探针针痕比例计算方法，分别用于大夹角和小夹角的情况，提高了平面化的角度调控范围。

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