公开(公告)号：CN115326202B

公开(公告)日：2024-10-18

申请号：CN202210959735.1

申请日：2022-08-11

Applicant: 中南大学

Inventor： 方靖岳 ,  董晓诺 ,  李烁 ,  文之豪

IPC: G01J3/28 ,  G01J3/02 ,  G01N21/25 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明公开了一种高光谱成像装置及其制备方法、成像方法，所述装置包括图像传感器、法布里‑珀罗滤光膜系、间隙检测模块、间隙调节机构以及控制模块；法布里‑珀罗滤光膜系的中间腔层和下层高反射膜系设在图像传感器的衬底上，上层高反射膜系设在基片上，间隙调节机构设在衬底与基片之间并使衬底与基片之间形成空气隙；控制模块根据间隙检测模块检测的空气隙控制间隙调节机构动作，以调节衬底与基片之间的空气隙，实现法布里‑珀罗滤光膜系工作波长的调节，从而实现光谱通道数量的增加，无需增加工艺复杂性和成本。

公开(公告)号：CN116242483A

公开(公告)日：2023-06-09

申请号：CN202310219083.2

申请日：2023-03-09

Applicant: 中南大学

Inventor： 方靖岳 ,  文之豪 ,  王鹏宇 ,  刘博宇

IPC: G01J3/28 ,  G01J3/02 ,  G01J3/26

Abstract: 本发明公开了一种高光谱成像装置及法布里‑珀罗谐振腔、控制方法，所述谐振腔包括衬底和基片、压电陶瓷、电压驱动电路、控制模块、待测电容、电容检测模块；待测电容的数量与压电陶瓷的数量相同且一一对应；电容检测模块包括激励信号产生模块、信号接收模块以及傅里叶变换模块；激励信号产生模块与控制模块、待测电容连接，信号接收模块与待测电容连接，信号接收模块的输出端通过傅里叶变换模块与控制模块连接；控制模块根据傅里叶变换模块输出的频域信号计算待测电容的容值，根据容值计算衬底与基片之间的间隙，根据该间隙控制电压驱动电路输出的驱动电压。本发明能够对迟滞效应进行补偿，提高了谐振腔谐振频率精度。