-
公开(公告)号:CN117718183A
公开(公告)日:2024-03-19
申请号:CN202311446780.8
申请日:2023-11-02
Applicant: 中南大学
Abstract: 本发明公开了涂覆装置及方法,涉及涂覆技术领域,包括密闭箱、原料仓、基体加热装置、基体夹持装置、除氧装置,所述原料仓、所述基体加热装置、所述基体夹持装置放置在所述密闭箱内,所述除氧装置用于除去所述密闭箱中的氧气,本发明还提供一种涂覆方法,具有加工工序简单,加工时间短,效率高,对生产条件要求低等优点。
-
公开(公告)号:CN117718194A
公开(公告)日:2024-03-19
申请号:CN202311440153.3
申请日:2023-11-01
Applicant: 中南大学
Abstract: 本发明公开了一种表面涂覆设备及方法,涉及表面涂覆技术领域,包括密闭箱、原料供给装置、基体加热装置、基体夹持装置、抽真空装置、惰性气体供给装置,所述原料供给装置、所述基体加热装置、所述基体夹持装置放置在所述密闭箱内,所述抽真空装置、所述惰性气体供给装置与所述密闭箱相连,本发明还提供一种表面涂覆的方法,具有加工工序简单,加工时间短,效率高,对生产条件要求低等优点。
-
公开(公告)号:CN117680331A
公开(公告)日:2024-03-12
申请号:CN202311446783.1
申请日:2023-11-02
Applicant: 中南大学
Abstract: 本发明公开了一种用于表面涂覆的设备及方法,涉及涂覆技术领域,包括密闭箱、原料供给装置、基体加热装置、基体夹持装置、除氧装置,所述原料供给装置、所述基体加热装置、所述基体夹持装置放置在所述密闭箱内,所述除氧装置用于除去所述密闭箱中的氧气,本发明还提供一种表面涂覆的方法,具有加工工序简单,加工时间短,效率高,对生产条件要求低等优点。
-
-