公开(公告)号：CN113088873A

公开(公告)日：2021-07-09

申请号：CN202110284963.9

申请日：2021-03-15

Applicant: 中南大学

Inventor： 王璐珩 ,  刘裕杰 ,  南茂元

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/35 ,  C23C14/08 ,  C23C14/58 ,  G01B7/14 ,  G01N27/12

Abstract: 本发明涉及一种乙醇蒸汽与间隙敏感元件，该敏感元件包括陶瓷衬底，线圈，绝缘层和电极；乙醇蒸汽与间隙敏感元件为线圈式；陶瓷衬底长度为50mm，宽度为38.5mm，厚度为1mm；线圈线宽和线距均为0.5mm，圈数为10圈；绝缘层结构为长方形，所述绝缘层材料为氧化铝，所述绝缘层长度为27.5mm，绝缘层宽度为3mm；电极结构为非叉指型，所述电极材料为二氧化锡，所述电极半径为2mm，长度为31.43mm，宽度为1mm；该敏感元件对乙醇蒸汽敏感且对非接触式间隙的变化敏感。本发明研制的乙醇蒸汽与间隙敏感元件尺寸小、厚度薄、结构简约、成本低，用单个敏感元件就可实现气体和非接触式间隙测量，适用于工业设备狭小层间气体和间隙测量，其关键技术还可用于多功能电子皮肤研制等领域。

公开(公告)号：CN113088873B

公开(公告)日：2021-12-21

申请号：CN202110284963.9

申请日：2021-03-15

Applicant: 中南大学

Inventor： 王璐珩 ,  刘裕杰 ,  南茂元

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/35 ,  C23C14/08 ,  C23C14/58 ,  G01B7/14 ,  G01N27/12

Abstract: 本发明涉及一种乙醇蒸汽与间隙敏感元件，该敏感元件包括陶瓷衬底，线圈，绝缘层和电极；乙醇蒸汽与间隙敏感元件为线圈式；陶瓷衬底长度为50mm，宽度为38.5mm，厚度为1mm；线圈线宽和线距均为0.5mm，圈数为10圈；绝缘层结构为长方形，所述绝缘层材料为氧化铝，所述绝缘层长度为27.5mm，绝缘层宽度为3mm；电极结构为非叉指型，所述电极材料为二氧化锡，所述电极半径为2mm，长度为31.43mm，宽度为1mm；该敏感元件对乙醇蒸汽敏感且对非接触式间隙的变化敏感。本发明研制的乙醇蒸汽与间隙敏感元件尺寸小、厚度薄、结构简约、成本低，用单个敏感元件就可实现气体和非接触式间隙测量，适用于工业设备狭小层间气体和间隙测量，其关键技术还可用于多功能电子皮肤研制等领域。