一种基于隧道磁阻效应的高灵敏微位移检测装置

    公开(公告)号:CN112344840B

    公开(公告)日:2022-02-08

    申请号:CN202011173646.1

    申请日:2020-10-28

    Abstract: 本发明属于位移检测技术领域,具体涉及一种基于隧道磁阻效应的高灵敏微位移检测装置,包括下层基板部分、上层基板部分,所述上层基板部分设置在下层基板部分的上方,所述下层基板部分与上层基板部分相互平行,所述所述下层基板部分与上层基板部分之间无接触;所述下层基板部分包括下层基座、回折蛇形线圈,所述回折蛇形线圈固定在下层基座上。本发明提出的微位移检测装置,采用了隧道磁阻效应检测位移变化,同时通过合理的空间布局产生两路幅值、频率相同,相位相差90°的信号,并引入了细分电路对信号进行处理。具有检测灵敏度高、抗干扰能力强等优点。本发明用于微位移的测量。

    一种非谐振式纳米光栅六轴MEMS惯组测量装置

    公开(公告)号:CN112710302A

    公开(公告)日:2021-04-27

    申请号:CN202011462284.8

    申请日:2020-12-11

    Abstract: 本发明属于微惯性导航仪器测量仪技术领域,具体涉及一种非谐振式纳米光栅六轴MEMS惯组测量装置,包括环形器、上层结构、下层结构,所述上层结构设置在下层结构上,所述上层结构包括惯性测量装置,所述惯性测量装置上设置有离面运动检测结构,所述离面运动检测结构的四周分别设置有第一回折型面内运动检测结构、第二回折型面内运动检测结构、第三回折型面内运动检测结构、第四回折型面内运动检测结构。本发明提出的MEMS惯性测量装置无需驱动,不需要模态匹配。本发明提出的MEMS惯性测量装置利用纳米光栅反射式检测原理,利用环形器产生光和接收反射光,通过检测光强的变化来判断产生的微位移变化。

    一种基于电磁感应原理的MEMS三轴能量收集器

    公开(公告)号:CN112491233A

    公开(公告)日:2021-03-12

    申请号:CN202011454522.0

    申请日:2020-12-10

    Abstract: 本发明属于能量收集技术领域,具体涉及一种基于电磁感应原理的MEMS三轴能量收集器,包括上层结构和下层结构,所述上层结构设置在下层结构的上方,所述上层结构包括支撑框架、面内振动结构、离面振动结构,所述面内振动结构、离面振动结构设置在支撑框架上,所述下层结构包括磁体基座、第一永磁体、第二永磁体,所述第一永磁体、第二永磁体均镶嵌在磁体基座内。本发明提出的三轴能量收集器利用电磁感应原理收集环境中的振动能,并且环境适应性极强,能为各种无线传感网络提供必要的能源,具有结构简单、加工方便、易集成、效率高、寿命长等优点。本发明用于能量的收集。

    一种基于隧道磁阻效应的高灵敏微位移检测装置

    公开(公告)号:CN112344840A

    公开(公告)日:2021-02-09

    申请号:CN202011173646.1

    申请日:2020-10-28

    Abstract: 本发明属于位移检测技术领域,具体涉及一种基于隧道磁阻效应的高灵敏微位移检测装置,包括下层基板部分、上层基板部分,所述上层基板部分设置在下层基板部分的上方,所述下层基板部分与上层基板部分相互平行,所述所述下层基板部分与上层基板部分之间无接触;所述下层基板部分包括下层基座、回折蛇形线圈,所述回折蛇形线圈固定在下层基座上。本发明提出的微位移检测装置,采用了隧道磁阻效应检测位移变化,同时通过合理的空间布局产生两路幅值、频率相同,相位相差90°的信号,并引入了细分电路对信号进行处理。具有检测灵敏度高、抗干扰能力强等优点。本发明用于微位移的测量。

    一种基于FPGA的高精度多路激光脉宽测量装置及方法

    公开(公告)号:CN112284529A

    公开(公告)日:2021-01-29

    申请号:CN202011166271.6

    申请日:2020-10-27

    Abstract: 本发明属于激光脉宽测量技术领域,具体涉及一种基于FPGA的高精度多路激光脉宽测量装置及方法,所述光电转换模块通过导线与放大电路连接,所述放大电路连接有微分电路,所述微分电路连接在FPGA‑TDC模块上,所述直流稳压供电分别与光电转换模块、放大电路、微分电路、FPGA‑TDC模块连接。本发明只采用6个滤光片加高速光电探测器组成脉宽探测装置来避免虚警、漏警引起的误判;本发明采用FPGA模块来实现高精度时间数字转换来实现激光脉宽的测量,并且可以使测量精度达到皮秒级别;本发明采用FPGA模块来同时控制6路高速光电探测器探测激光脉宽来降低激光测试系统的误测率,提高系统的可靠性。本发明用于对激光脉宽测量。

    一种弹光调制型傅里叶变换光谱仪光程差实时定标方法

    公开(公告)号:CN112345077A

    公开(公告)日:2021-02-09

    申请号:CN202011195705.5

    申请日:2020-10-30

    Abstract: 本发明属于弹光调制干涉信号的数据处理领域,具体涉及一种弹光调制型傅里叶变换光谱仪光程差实时定标方法,包括下列步骤:对弹光调制的参考激光干涉信号和待测光源信号同时进行采样;通过帧头帧尾提取出一个周期参考激光干涉信号的数据,再经过滤波处理将采样得到的数字信号传到上位机;定标与待测光谱信号并行处理,光程差定标完成给复色光干涉信号处理联用。本发明以短波长的激光作为参考光源产生参考干涉图,对采集到的参考干涉图数字信号在上位机中进行过零计数,计算其瞬态最大光程差,实现了复原波长标定。本发明用于光程差的定标。

    一种基于Talbot像和COMS相机结构的位移传感器

    公开(公告)号:CN112082490A

    公开(公告)日:2020-12-15

    申请号:CN202011129953.X

    申请日:2020-10-21

    Abstract: 本发明属于位移传感器技术领域,具体涉及一种基于Talbot像和COMS相机结构的位移传感器,包括光源、凸透镜、光栅、COMS相机,所述光源设置在凸透镜的焦点处,所述光源发出的散射光通过凸透镜后成为平行光束,所述平行光束的光路方向上设置有光栅,所述平行光束经光栅发生衍射干涉,所述平行光束在光栅后形成Talbot像,所述COMS相机设置在任一级的Talbot像上;本发明通过光学设计使光源位移与Talbot像周期相结合,通过COMS相机对Talbot像周期进行测量进而实现对光源位移的测量,实现位移信号输出,仅使用光源、凸透镜、光栅、COMS相机器件,结构较为简单;同时,通过对Talbot像周期的测量也可实现对光源的准直,进而提高定位精度。本发明用于光微位移的测量。

    一种基于隧道磁阻检测的频率可调谐微机械陀螺结构

    公开(公告)号:CN112710292B

    公开(公告)日:2022-11-01

    申请号:CN202011457459.6

    申请日:2020-12-10

    Abstract: 本发明属于微机械陀螺技术领域,具体涉及一种基于隧道磁阻检测的频率可调谐微机械陀螺结构,包括玻璃基板、支撑结构、驱动质量块、检测质量块、第一支撑梁、第二支撑梁、驱动导线、驱动反馈导线、第一调节电极、第二调节电极、第三调节电极、第四调节电极、导线圈,所述支撑结构通过阳极键合固定在玻璃基板上,所述第一支撑梁、第二支撑梁均有四个,所述支撑结构通过四个第一支撑梁连接有驱动质量块,所述驱动质量块通过四个第二支撑梁连接有检测质量块,所述驱动质量块的两侧分别设置有驱动导线、驱动反馈导线。本发明微机械陀螺结构设计合理、接口电路简单、检测精度高,可解决角速率信号检测的难题。

    一种基于微流通道的太赫兹超材料液相折射率传感器

    公开(公告)号:CN112378882A

    公开(公告)日:2021-02-19

    申请号:CN202011230101.X

    申请日:2020-11-06

    Abstract: 本发明属于相折射率传感器技术领域,具体涉及一种基于微流通道的太赫兹超材料液相折射率传感器,包括基底层、金属薄膜层、介质层、混合结构层、顶层薄膜层,基底层的上设置有金属薄膜层,金属薄膜层上设置有介质层,介质层上设置有混合结构层,混合结构层上设置有顶层薄膜层。本发明能在太赫兹波段实现无标记、快速响应、高精度、高灵敏度的生物液体检测。由于中心对称的结构,在电磁波以不同极化态或者大射角度入射传感结构时具有完全相同的电磁波吸收特性,并展现出极强的带宽、吸收稳定性、极化不敏感和宽角度入射的优点,能够满足各种复杂环境下生物液相传感。本发明用于生物液体的检测。

    一种基于FPGA的高精度多路激光脉宽测量装置及方法

    公开(公告)号:CN112284529B

    公开(公告)日:2022-07-12

    申请号:CN202011166271.6

    申请日:2020-10-27

    Abstract: 本发明属于激光脉宽测量技术领域,具体涉及一种基于FPGA的高精度多路激光脉宽测量装置及方法,所述光电转换模块通过导线与放大电路连接,所述放大电路连接有微分电路,所述微分电路连接在FPGA‑TDC模块上,所述直流稳压供电分别与光电转换模块、放大电路、微分电路、FPGA‑TDC模块连接。本发明只采用6个滤光片加高速光电探测器组成脉宽探测装置来避免虚警、漏警引起的误判;本发明采用FPGA模块来实现高精度时间数字转换来实现激光脉宽的测量,并且可以使测量精度达到皮秒级别;本发明采用FPGA模块来同时控制6路高速光电探测器探测激光脉宽来降低激光测试系统的误测率,提高系统的可靠性。本发明用于对激光脉宽测量。

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