公开(公告)号：CN115601351A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202211368622.0

申请日：2022-11-03

Applicant: 中北大学(CN)

Inventor： 吴泱序 ,  刘宾 ,  陈平 ,  魏交统 ,  赵晓杰

IPC: G06T7/00 ,  G06V10/82 ,  G06N3/04 ,  G06N3/08

Abstract: 本发明涉及一种融合多模信息的键合缺陷识别方法及系统，涉及图像识别领域，该方法包括：获取待识别芯片图像；根据待识别芯片图像确定图像参数；图像参数包括缺陷角点、缺陷边缘、污点灰度、污点边缘、缺陷形态、缺陷分布、缺陷差异比和污点差异比；将所述图像参数输入缺陷识别模型，根据待识别芯片图像的当前检测范围和当前图像参数，输出对待识别芯片图像进行缺陷检测的执行动作，通过执行动作更新检测范围，缺陷识别模型迭代输出执行动作，直到满足结束检测条件为止；缺陷识别模型为采用样本数据集训练好的深度卷积网络模型；所述样本数据集中每个样本包括芯片样本图像、图像参数和按顺序排列的执行动作。本发明提高了芯片缺陷识别精度。