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公开(公告)号：CN112985478A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202110174070.9
申请日：2021-02-09
Abstract: 本申请涉及微纳结构的耐高温法布里‑珀罗腔传感结构及系统，具体而言，涉及传感器领域。本申请提供的微纳结构的耐高温法布里‑珀罗腔传感结构，结构包括：主体结构、第一体光栅、第二体光栅和光纤；柱体结构内部设置有孔洞，孔洞的两个相对的面设置有第一体光栅和第二体光栅，且主体结构的外部设置有光纤，由于温法布里‑珀罗腔两侧设置有第一体光栅和第二体光栅，该主体结构内的孔洞构成了法布里‑珀罗腔，当需要对待测信息进行测量时，将本申请的结构设置在待测环境中，当待测环境中的待测因素改变时，法布里‑珀罗腔内部的光束干涉谱线发生漂移，通过对光束干涉谱线的检测，并根据光束干涉谱线的变化与待测因素的对应关系，得到待测因素的量。
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公开(公告)号：CN112985478B
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202110174070.9
申请日：2021-02-09
Abstract: 本申请涉及微纳结构的耐高温法布里‑珀罗腔传感结构及系统，具体而言，涉及传感器领域。本申请提供的微纳结构的耐高温法布里‑珀罗腔传感结构，结构包括：主体结构、第一体光栅、第二体光栅和光纤；柱体结构内部设置有孔洞，孔洞的两个相对的面设置有第一体光栅和第二体光栅，且主体结构的外部设置有光纤，由于温法布里‑珀罗腔两侧设置有第一体光栅和第二体光栅，该主体结构内的孔洞构成了法布里‑珀罗腔，当需要对待测信息进行测量时，将本申请的结构设置在待测环境中，当待测环境中的待测因素改变时，法布里‑珀罗腔内部的光束干涉谱线发生漂移，通过对光束干涉谱线的检测，并根据光束干涉谱线的变化与待测因素的对应关系，得到待测因素的量。
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公开(公告)号：CN112945370B
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202110174088.9
申请日：2021-02-09
Applicant: 中北大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 本申请涉及全固态法布里‑珀罗腔内嵌薄膜式的振动传感器及系统，具体而言，涉及振动检测领域。本申请提供的全固态法布里‑珀罗腔内嵌薄膜式的振动传感器，振动传感器包括：腔体结构和振动膜，腔体结构为空腔结构，腔体结构的材料为半反半透材料，且腔体结构的空腔内部相对的两个面上均设置有反射膜，振动膜垂直于两个反射膜的连线设置在腔体结构内部，振动膜的中央位置设置有透光孔；当需要对振动进行检测的时候，将本申请的振动传感器设置在待测平面上，待测平台振动使得振动传感器发生共振，进而改变振动传感器出射端的光的光传输量，通过计算得到腔体结构内部的光传输量的变化，并根据通过光传输量的变化与振动信息的对应关系，得到振动信息。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112902995B
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202110232693.7
申请日：2021-03-03
Applicant: 中北大学
IPC: G01D5/353
Abstract: 本申请涉及基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F‑P腔传感结构，具体而言，涉及法珀腔领域。本申请提供的基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F‑P腔传感结构包括：第一光纤、第二光纤、插芯和腔体结构，由于该腔体结构设置有底层、第一中间层和第二中间层和顶层，第一中间层和第二中间层相互平行设置在底层的表面，且第一中间层和第二中间层之间具有间隙，顶层设置在第一中间层和第二中间层远离底层的一侧，则该底层、第一中间层和第二中间层和顶层形成了法珀腔，则进入到该腔体结构的光信号在法珀腔内部时，在该腔体内进行多次反射，形成干涉光。
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公开(公告)号：CN112964299B
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202110173827.2
申请日：2021-02-09
Applicant: 中北大学
IPC: G01D21/02
Abstract: 本申请涉及耐高温高压结构热‑声‑振三参数集成原位传感器及系统，具体而言，涉及传感器领域。本申请提供的耐高温高压结构热‑声‑振三参数集成原位传感器包括：热量检测装置、声音检测装置和振动检测装置；声音检测装置和振动检测装置分布设置在热量检测装置的两侧当需要对热量、声音和振动进行测量时，仅需要获取热量检测装置、声音检测装置和振动检测装置的出射的光信号的光谱，分别通过热量检测装置、声音检测装置和振动检测装置的出射的光信号的光谱的变化情况，与待测的热量信息、声音信息和振动信息的对应关系，得到待测的热量信息、声音信息和振动信息。
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公开(公告)号：CN112964299A
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202110173827.2
申请日：2021-02-09
Applicant: 中北大学
IPC: G01D21/02
Abstract: 本申请涉及耐高温高压结构热‑声‑振三参数集成原位传感器及系统，具体而言，涉及传感器领域。本申请提供的耐高温高压结构热‑声‑振三参数集成原位传感器包括：热量检测装置、声音检测装置和振动检测装置；声音检测装置和振动检测装置分布设置在热量检测装置的两侧当需要对热量、声音和振动进行测量时，仅需要获取热量检测装置、声音检测装置和振动检测装置的出射的光信号的光谱，分别通过热量检测装置、声音检测装置和振动检测装置的出射的光信号的光谱的变化情况，与待测的热量信息、声音信息和振动信息的对应关系，得到待测的热量信息、声音信息和振动信息。
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公开(公告)号：CN112945370A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110174088.9
申请日：2021-02-09
Applicant: 中北大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 本申请涉及全固态法布里‑珀罗腔内嵌薄膜式的振动传感器及系统，具体而言，涉及振动检测领域。本申请提供的全固态法布里‑珀罗腔内嵌薄膜式的振动传感器，振动传感器包括：腔体结构和振动膜，腔体结构为空腔结构，腔体结构的材料为半反半透材料，且腔体结构的空腔内部相对的两个面上均设置有反射膜，振动膜垂直于两个反射膜的连线设置在腔体结构内部，振动膜的中央位置设置有透光孔；当需要对振动进行检测的时候，将本申请的振动传感器设置在待测平面上，待测平台振动使得振动传感器发生共振，进而改变振动传感器出射端的光的光传输量，通过计算得到腔体结构内部的光传输量的变化，并根据通过光传输量的变化与振动信息的对应关系，得到振动信息。
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公开(公告)号：CN112902995A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202110232693.7
申请日：2021-03-03
Applicant: 中北大学
IPC: G01D5/353
Abstract: 本申请涉及基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F‑P腔传感结构，具体而言，涉及法珀腔领域。本申请提供的基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F‑P腔传感结构包括：第一光纤、第二光纤、插芯和腔体结构，由于该腔体结构设置有底层、第一中间层和第二中间层和顶层，第一中间层和第二中间层相互平行设置在底层的表面，且第一中间层和第二中间层之间具有间隙，顶层设置在第一中间层和第二中间层远离底层的一侧，则该底层、第一中间层和第二中间层和顶层形成了法珀腔，则进入到该腔体结构的光信号在法珀腔内部时，在该腔体内进行多次反射，形成干涉光。
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