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公开(公告)号：CN115655539A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211418312.5
申请日：2022-11-14
Applicant: 中北大学
Abstract: 本申请涉及传感技术领域，具体提供了一种压阻式压力传感器，该压阻式压力传感器包括硅基层、金属引线。硅基层的一个侧面设置有凹陷结构，凹陷结构的底部形成硅膜片，硅膜片远离凹陷结构一侧的表面上设置有超浅掺杂区，金属引线固定设置于硅基层远离凹陷结构一侧，金属引线至少一端与超浅掺杂区固定接触。超浅掺杂区通过金属引线连接入电回路中。金属引线使用磁控溅射或沉积法制备。超浅掺杂区采用低能量的离子注入工艺制造。凹陷结构采用时分复用法刻蚀技术制备。本发明中超浅掺杂区的掺杂厚度为纳米数量级，这样在微小压力环境中形变量较小的情况下，仍然能够引起较大的电阻值变化，从而实现微小压力的高灵敏探测。
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公开(公告)号：CN114542682A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202210208179.4
申请日：2022-03-04
Applicant: 中北大学
IPC: F16H37/12 , F16H57/08 , F16H57/023 , F16H57/035 , F03G5/02 , H02K7/18 , H02K7/116
Abstract: 本申请涉及人体动能采集技术领域，具体提供了一种基于人体关节摆动的能量采集装置。该装置包括发电机、第一齿轮组、第二齿轮组、轴、皮带、换向连接器、第一结构外壳、第二结构外壳、第一齿轮、第二齿轮，发电机、第一齿轮组、第二齿轮组、轴、皮带、第一齿轮、第二齿轮均设置在第一结构外壳内，换向连接器与第二结构外壳固定连接，换向连接器与第一齿轮组可转动连接，发电机固定在第一结构外壳的一端，第一齿轮与发电机的转轴固定连接，第一齿轮组固定在第一结构外壳的另一端，第二齿轮组通过轴与第一齿轮组固定连接，第二齿轮与第二齿轮组固定连接，第一齿轮和第二齿轮通过皮带传动连接。
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公开(公告)号：CN214621168U
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202121268944.9
申请日：2021-06-07
Applicant: 中北大学
Abstract: 本实用新型涉及海洋工程装备性能测试技术领域，具体涉及一种海洋多参数集成测试装置，包括主舱体、流速计、注入舱、压力变送器、推进舱、截止阀、泄压水槽、打压泵、100mm可调整接口、被测对象、316不锈钢管、显示器、工控机、防护装置、支撑平台、三通管，所述主舱体固定在支撑平台上，侧面配置有若干个100mm可调整接口，其内部加持机构可固定0‑100mm范围内的多种海洋装备以及传感器，所述流速计、注入舱、推进舱、截止阀通过若干316不锈钢管与主舱体连接在一起，形成环路。本实用新型从实际海洋环境以及多参数传感器集成测试需求出发，可以实现水下多参数环境模拟，为水下工程装备的研制、测试提供快速可靠的平台基础。
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公开(公告)号：CN216081887U
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202122837774.8
申请日：2021-11-18
Applicant: 中北大学
IPC: G01L19/14
Abstract: 本实用新型涉及传感器领域，具体涉及一种柔性固液耦合压力传感器封装，包括传感器上盖、唇缘与上盖相连的传感器底壳、设置在传感器底壳内的中间垫片、设置在中间垫片上端的压力传感器槽内的压力传感芯片、设置在中间垫片与传感器底壳之间的软质液囊，中间垫片与软质液囊构成空腔，起到水密的作用，所述压力传感器槽内开有与空腔连通的小孔。本实用新型中，对压力传感器芯片采用固液耦合的封装方式，使得柔性表面压力的集中在压力传感器芯片的敏感单元，从而可以实现柔性固体的压力测试，突破了刚性封装传感器在测量柔性物体压力参数时所造成的数据失真、对被测物体造成刚性物理伤害的局限，同时可以有效保护所测试柔性表面如：皮肤、眼球等。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN216668708U
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202123324907.8
申请日：2021-12-27
Applicant: 中北大学
IPC: G01C13/00
Abstract: 本实用新型涉及海洋湍流探测领域，具体涉及一种高可靠性的海洋湍流传感器封装模块，包括壳体、螺纹连接于壳体前端的导流罩、扣于导流罩上的前端保护帽、安装在壳体和导流罩之间的湍流敏感结构、安装于壳体尾端的水密接插件、以及套设于水密接插件尾端的末端防尘帽。本实用新型可有效解决湍流传感器在海洋环境下的电绝缘、水密、防腐蚀、防冲击、耐水压等问题，为海洋湍流的观测提供了可靠的技术基础，同时也为其他海洋传感器的封装提供了借鉴。
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公开(公告)号：CN218646480U
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202223017124.X
申请日：2022-11-14
Applicant: 中北大学
Abstract: 本申请涉及传感技术领域，具体提供了一种压阻式压力传感器，该压阻式压力传感器包括硅基层、金属引线。硅基层的一个侧面设置有凹陷结构，凹陷结构的底部形成硅膜片，硅膜片远离凹陷结构一侧的表面上设置有超浅掺杂区，金属引线固定设置于硅基层远离凹陷结构一侧，金属引线至少一端与超浅掺杂区固定接触。超浅掺杂区通过金属引线连接入电回路中。金属引线使用磁控溅射或沉积法制备。超浅掺杂区采用低能量的离子注入工艺制造。凹陷结构采用时分复用法刻蚀技术制备。本实用新型中超浅掺杂区的掺杂厚度为纳米数量级，这样在微小压力环境中形变量较小的情况下，仍然能够引起较大的电阻值变化，从而实现微小压力的高灵敏探测。
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公开(公告)号：CN216668709U
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202123325139.8
申请日：2021-12-27
Applicant: 中北大学
IPC: G01C13/00
Abstract: 本实用新型涉及海洋湍流探测技术领域，具体涉及一种高可靠性的MEMS纤毛‑十字梁湍流敏感结构，包括信号接收板、设置在信号接收板上的梁根部加固型十字梁芯片、以及集成设置在梁根部加固型十字梁芯片上的仿生纤毛，梁根部加固型十字梁芯片与信号接收板上的焊盘材料均为金，并通过金丝引线键合技术将两者相对应的焊点相连。本实用新型可有效解决纤毛十字梁结构在实际应用过程出现的各种损坏问题，大幅度提高了其可靠性，为纤毛‑十字梁结构的工程应用奠定了坚实的基础。
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公开(公告)号：CN216081842U
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202122838774.X
申请日：2021-11-18
Applicant: 中北大学
IPC: G01L1/18
Abstract: 本实用新型涉及传感器领域，具体涉及一种MEMS压阻式压力传感器，包括硅片、设置在硅片上金属引线、欧姆接触区和电阻，所述硅片的底面采用深硅刻蚀制备一背腔，电阻沿110方向设置在背腔的应力敏感位置，每个电阻的边缘与欧姆接触区接触，以确保惠斯通电桥导通，欧姆接触区与金属引线一起将传感器中产生的电信号与电极导通。本实用新型采用大面积欧姆接触区的方式，将金属引线缩小至金属焊盘大小，极大的提高了传感器芯片的经济性，同时其性能保持不变。
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