公开(公告)号：CN103279027A

公开(公告)日：2013-09-04

申请号：CN201310181745.8

申请日：2013-05-16

Applicant: 中北大学

Inventor： 闫树斌 ,  王红亮 ,  张会新 ,  马游春 ,  刘俊 ,  薛晨阳 ,  张文栋 ,  陈浩 ,  骆亮 ,  张蔚云 ,  郑永秋

IPC: G05B11/42

Abstract: 本发明涉及电路系统稳定性的控制装置，尤其涉及光学陀螺系统的稳定性控制装置，具体为一种基于谐振式光学陀螺系统的数字模拟复合PID控制器，包括比例运算放大器、积分运算电路、微分运算电路和比例加法器，还包括FPGA控制芯片、第一AD转换模块、第二AD转换模块、第一程控电阻、第二程控电阻、第三程控电阻和程控电容。本发明提供了一种数字模拟复合PID控制器，此控制器将原先模拟PID控制器中的可调电阻和可调电容变换为可通过芯片自动控制的程控电阻和程控电容，使得控制器的参数调节、选取简单精确，解决了模拟PID控制器控制方式不灵活、控制精度不高的问题。

公开(公告)号：CN105468873B

公开(公告)日：2018-08-14

申请号：CN201510988227.6

申请日：2015-12-24

Applicant: 中北大学

Inventor： 闫树斌 ,  张文栋 ,  张志东 ,  薛晨阳 ,  崔建功 ,  陈慧斌 ,  骆亮 ,  苏莹 ,  王瑞兵

IPC: G06F17/50

Abstract: 本发明属于集成光学领域和材料表面工程领域，尤其涉及采用激光以降低波导侧壁粗糙度的方式降低硅光波导散射损耗的仿真模拟方法，具体为一种硅基光波导激光表面光滑化仿真方法，解决了使用激光对硅基光波导做表面粗糙度处理过程中，凭经验设置工艺参数的不准确，成功率低等关键问题。该数值仿真方法可以重现任何工艺制作的波导侧壁产生的粗糙表面。根据还原的侧壁真实形貌，结合相变要求的熔深、时长数据，获得相应的激光能量密度、入射角、脉冲时长参数。为工艺过程提供了准确可靠的参数数据。本发明分析结果准确性、精度高，极大地缩短了工艺参数获得的周期，为光波导器件的大规模生产和自适应加工奠定了坚实的基础。

公开(公告)号：CN103279027B

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：CN201310181745.8

申请日：2013-05-16

Applicant: 中北大学

Inventor： 闫树斌 ,  王红亮 ,  张会新 ,  马游春 ,  刘俊 ,  薛晨阳 ,  张文栋 ,  陈浩 ,  骆亮 ,  张蔚云 ,  郑永秋

IPC: G05B11/42

Abstract: 本发明涉及电路系统稳定性的控制装置，尤其涉及光学陀螺系统的稳定性控制装置，具体为一种基于谐振式光学陀螺系统的数字模拟复合PID控制器，包括比例运算放大器、积分运算电路、微分运算电路和比例加法器，还包括FPGA控制芯片、第一AD转换模块、第二AD转换模块、第一程控电阻、第二程控电阻、第三程控电阻和程控电容。本发明提供了一种数字模拟复合PID控制器，此控制器将原先模拟PID控制器中的可调电阻和可调电容变换为可通过芯片自动控制的程控电阻和程控电容，使得控制器的参数调节、选取简单精确，解决了模拟PID控制器控制方式不灵活、控制精度不高的问题。

公开(公告)号：CN105445494B

公开(公告)日：2018-10-19

申请号：CN201510910685.8

申请日：2015-12-10

Applicant: 中北大学

Inventor： 闫树斌 ,  张志东 ,  崔建功 ,  薛晨阳 ,  张文栋 ,  王瑞兵 ,  骆亮 ,  陈慧斌 ,  苏莹

IPC: G01P15/097 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明属于光学领域和微机电系统领域，具体为一种基于平面环形腔的MOEMS加速度计及其制造方法。加速度计包括：基底、悬臂梁、光栅、直波导和微环谐振腔。该加速度计的基本工作原理：首先入射光通过光栅耦合进直波导，在直波导中传输的光以倏式场的形式耦合进微环谐振腔，满足谐振条件的光在微环谐振腔内发生谐振产生与之相对应的透射峰。当系统受外力冲击时，在加速度的作用下，悬臂梁受惯性力的作用发生形变，使集成在悬臂梁上的微环谐振腔产生微小的变形，进而使微环谐振腔的有效折射率改变，导致微环谐振腔腔的谐振峰发生偏移，通过测量谐振点产生的偏移量，就可以对相应的加速度值进行标定。

公开(公告)号：CN105468873A

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201510988227.6

申请日：2015-12-24

Applicant: 中北大学

Inventor： 闫树斌 ,  张文栋 ,  张志东 ,  薛晨阳 ,  崔建功 ,  陈慧斌 ,  骆亮 ,  苏莹 ,  王瑞兵

IPC: G06F17/50

CPC classification number: G06F17/5018

Abstract: 本发明属于集成光学领域和材料表面工程领域，尤其涉及采用激光以降低波导侧壁粗糙度的方式降低硅光波导散射损耗的仿真模拟方法，具体为一种硅基光波导激光表面光滑化仿真方法，解决了使用激光对硅基光波导做表面粗糙度处理过程中，凭经验设置工艺参数的不准确，成功率低等关键问题。该数值仿真方法可以重现任何工艺制作的波导侧壁产生的粗糙表面。根据还原的侧壁真实形貌，结合相变要求的熔深、时长数据，获得相应的激光能量密度、入射角、脉冲时长参数。为工艺过程提供了准确可靠的参数数据。本发明分析结果准确性、精度高，极大地缩短了工艺参数获得的周期，为光波导器件的大规模生产和自适应加工奠定了坚实的基础。

公开(公告)号：CN105445494A

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201510910685.8

申请日：2015-12-10

Applicant: 中北大学

Inventor： 闫树斌 ,  张志东 ,  崔建功 ,  薛晨阳 ,  张文栋 ,  王瑞兵 ,  骆亮 ,  陈慧斌 ,  苏莹

IPC: G01P15/097 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明属于光学领域和微机电系统领域，具体为一种基于平面环形腔的MOEMS加速度计及其制造方法。加速度计包括：基底、悬臂梁、光栅、直波导和微环谐振腔。该加速度计的基本工作原理：首先入射光通过光栅耦合进直波导，在直波导中传输的光以倏式场的形式耦合进微环谐振腔，满足谐振条件的光在微环谐振腔内发生谐振产生与之相对应的透射峰。当系统受外力冲击时，在加速度的作用下，悬臂梁受惯性力的作用发生形变，使集成在悬臂梁上的微环谐振腔产生微小的变形，进而使微环谐振腔的有效折射率改变，导致微环谐振腔的谐振峰发生偏移，通过测量谐振点产生的偏移量，就可以对相应的加速度值进行标定。