一种压电陶瓷驱动的三维微定位平台

    公开(公告)号:CN115370900A

    公开(公告)日:2022-11-22

    申请号:CN202211031341.6

    申请日:2022-08-26

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明公开了一种压电陶瓷驱动的三维微定位平台,属于微纳定位技术领域,本发明所述的三维微定位平台包括上平台和下平台,所述的上平台和下平台之间靠四角设有支撑杆件,所述的上平台中设有通槽且在通槽中设有移动平台,所述的移动平台的四周侧壁分别设有柔性铰链一。本发明的优点在于:本发明通过将驱动器与放大机构配合,扩大了移动平台的位移范围;通过采用多连杆对称导向机构,具体地采用连杆对称式,使其在兼顾位移行程的同时考虑整体结构刚度,能够最大程度的消除耦合误差以及寄生位移对定位精度的影响,提高定位精度;纵向位移采用二级放大结构实现二级放大。

    一种基于压电陶瓷驱动的柔性微定位平台

    公开(公告)号:CN218301249U

    公开(公告)日:2023-01-13

    申请号:CN202222766477.3

    申请日:2022-10-20

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于压电陶瓷驱动的柔性微定位平台,属于微定位平台领域,一种基于压电陶瓷驱动的柔性微定位平台,包括底座,底座上端中部安装有动平台,动平台左侧前端和后端右侧均设置有刚性梁,左侧刚性梁前端和后端刚性梁右侧均固定连接有L型刚性块,左侧L型刚性块右侧和右侧L型刚性块前端均设置有安装孔,安装孔内部均安装有限位机构,左侧刚性梁右侧前端和后端刚性梁前端右侧均设置有柔性梁,它可以实现通过限位机构将平台上的压电陶瓷驱动器限位,使压电陶瓷驱动器可便于拆装,同时,使压电陶瓷驱动器的限位更加牢固,避免压电陶瓷驱动器在使用过程中脱落。

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