公开(公告)号：CN109029273A

公开(公告)日：2018-12-18

申请号：CN201811240791.X

申请日：2018-10-24

Applicant: 中北大学

Inventor： 张瑞 ,  王雅宁 ,  李孟委 ,  王志斌 ,  解琨阳 ,  赵宏波

IPC: G01B11/02 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01B11/02 ,  G01B9/02055

Abstract: 本发明涉及位移测量技术领域，更具体而言，涉及一种基于环形器的纳米光栅0级检测位移的测量方法，通过纳米光栅直接反射后的0级衍射光与经过反射镜后反射回的0级衍射光干涉信号来测量，实现入射光与检测光共光路；采用探测0级衍射光的方法，提高光能利用率和光电探测灵敏度；并且结合光纤环形器实现入射光与检测光共光路的方法，实现方便，请可有效消除杂散光的影响；结合在光栅处添加压电陶瓷驱动器，使其进行正弦调制，通过锁相放大一倍和二倍频信号，实现位移的高精度和高灵敏度测量，消除了背景噪声及激光强度波动对测量的影响，通过锁相一倍频信号和二倍频信号幅值，并进行相除可消除激光光强波动导致位移测量精度下降问题。

公开(公告)号：CN109029272A

公开(公告)日：2018-12-18

申请号：CN201811240765.7

申请日：2018-10-24

Applicant: 中北大学

Inventor： 张瑞 ,  王雅宁 ,  李孟委 ,  解琨阳 ,  王志斌 ,  赵宏波

IPC: G01B11/02

Abstract: 本发明涉及高精度位移测量技术领域，更具体而言，涉及一种双通道光栅位移测量方法，通过改变传统亚波长双层光栅结构，实现两个相位相差90°的双通道光栅位移传感，结合反正切可实现大量程、全量程灵敏度一致的高精度位移测量。由于该方法可获得一个通道光强随位移为正弦三角函数、另一个通道光强光强随位移为余弦三角函数，并且光栅常数d为亚波长级别，结合高倍细分技术，可实现跟高位移灵敏度的探测。

公开(公告)号：CN109029272B

公开(公告)日：2020-04-28

申请号：CN201811240765.7

申请日：2018-10-24

Applicant: 中北大学

Inventor： 张瑞 ,  王雅宁 ,  李孟委 ,  解琨阳 ,  王志斌 ,  赵宏波

IPC: G01B11/02

Abstract: 本发明涉及高精度位移测量技术领域，更具体而言，涉及一种双通道光栅位移测量方法，通过改变传统亚波长双层光栅结构，实现两个相位相差90°的双通道光栅位移传感，结合反正切可实现大量程、全量程灵敏度一致的高精度位移测量。由于该方法可获得一个通道光强随位移为正弦三角函数、另一个通道光强光强随位移为余弦三角函数，并且光栅常数d为亚波长级别，结合高倍细分技术，可实现跟高位移灵敏度的探测。

公开(公告)号：CN110095187A

公开(公告)日：2019-08-06

申请号：CN201910413641.2

申请日：2019-05-17

Applicant: 中北大学

Inventor： 张瑞 ,  王志斌 ,  李孟委 ,  李克武 ,  赵宏波 ,  解琨阳

IPC: G01J3/06 ,  G01J3/02 ,  G01J3/28

Abstract: 本发明属于光谱成像装置技术领域，具体涉及一种基于MEMS微振镜和光栅的微型光谱成像装置，包括依次设置的MEMS二维扫描振镜、MEMS一维扫描振镜和高速光电点探测器，所述MEMS一维扫描振镜上设有光栅；目标光依次经过MEMS二维扫描振镜和MEMS一维扫描振镜后被高速光电点探测器探测，通过MEMS二维扫描振镜进行二维扫描，通过带光栅的MEMS一维扫描振镜进行光谱扫描，结合高速光电点探测器实现光谱成像。该装置无需阵列探测器和复杂的光学系统就可实现对被测目标的光谱成像多维信息测量，该系统具有体积小、结构简单、功耗小、稳定性好的优点。