公开(公告)号：CN117570856A

公开(公告)日：2024-02-20

申请号：CN202311546794.7

申请日：2023-11-20

Applicant: 中北大学

Inventor： 辛晨光 ,  赖江北 ,  牛仟起 ,  张梦迪 ,  李孟委

IPC: G01B11/02 ,  G01H9/00 ,  G06F17/10 ,  G05B19/042

Abstract: 本发明属于高精度位移测量误差补偿技术领域，具体涉及一种基于FPGA微振动精确辨识的大量程位移误差补偿装置及方法，所述激光器的光路方向上设置有上层光栅，所述下层光栅设置在上层光栅的光路方向上，所述下层光栅的光路方向上设置有四象限光电探测器，所述四象限光电探测器与数据处理模块电性连接。本发明基于FPGA位移辩向实现振动误差精确辨识，利用细分电路将四象限光电探测器正余弦信号转化为增量式方波信号，并设计FPGA辨向电路对两路方波信号相位进行分析以识别位移方向，最终实现纳米级微小振动误差精密识别。又基于增量式误差修正原理构建误差补偿模型，通过计数正负方向微小位移计算振动误差，结合增量位移传感实现振动误差精确补偿。