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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110230031A
公开(公告)日：2019-09-13
申请号：CN201910571554.X
申请日：2019-06-28
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种宽频带无源耐高温柔性振动传感器，所述的传感器自上而下分为五层，分别是耐高温Al2O3薄膜封装层、电容上极板和矩形电感线圈层、Al2O3薄膜介质层、电容的下极板层和作为基底的聚酰亚胺层。所述聚酰亚胺基底上沉积有电容下极板，所述电容下极板上沉积氧化铝介质层，所述氧化铝介质层上沉积有电容上极板和电感线圈，且电容上极板位于电感线圈的中心处，电容上极板和电感线圈上沉积有氧化铝封装层，所述氧化铝介质层上设有用于实现电容下极板和电感线圈电连接的通孔。本发明选用聚酰亚胺柔性材料作基底，可以完全附着于异形构件表面，在大型装备工作中不易受振脱落，能够实现异形构件表面振动参数的动态精准测量。
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公开(公告)号：CN113025975A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202110248396.1
申请日：2019-06-28
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种面向复杂构件表面振动测量的无源MEMS传感器，所述的传感器自上而下分为五层，分别是耐高温氧化铝薄膜封装层、电容上极板和矩形电感线圈层、氧化铝薄膜介质层、电容的下极板层和作为基底的聚酰亚胺层。所述聚酰亚胺基底上沉积有电容下极板，所述电容下极板上沉积氧化铝薄膜介质层，所述氧化铝薄膜介质层上沉积有电容上极板和电感线圈，且电容上极板位于电感线圈的中心处，电容上极板和电感线圈上沉积有耐高温氧化铝薄膜封装层，所述氧化铝薄膜介质层上设有用于实现电容下极板和电感线圈电连接的通孔。本发明选用聚酰亚胺柔性材料作基底，可以完全附着于异形构件表面，在大型装备工作中不易受振脱落，能够实现异形构件表面振动参数的动态精准测量。
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公开(公告)号：CN110646474A
公开(公告)日：2020-01-03
申请号：CN201911027841.0
申请日：2019-10-25
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种基于WO3的无线无源H2气体传感器及其制备方法，该气体传感器包括：陶瓷基底以及印刷于陶瓷基底上的电感线圈与复合气敏电阻，电感线圈的外端经陶瓷基底通孔内填充的银浆与复合气敏电阻一端的连接，内端与复合气敏电阻的另一端相连，构成LR敏感回路；陶瓷基底以氧化铝生瓷带为材料，采用HTCC工艺制备，电感线圈以Ag为浆料，采用丝网印刷工艺制备，复合气敏电阻采用Pt-WO3复合材料，由磁控溅射工艺制备。本发明的气体传感器利用无线非接触的测量方法，通过分析随电阻变化的Q值，即可准确实现低温条件下待测气体H2的检测，采用成熟的丝网印刷和磁控溅射制备工艺，具有加工简便，成本低廉等优点。
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公开(公告)号：CN113025975B
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202110248396.1
申请日：2019-06-28
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种面向复杂构件表面振动测量的无源MEMS传感器，所述的传感器自上而下分为五层，分别是耐高温氧化铝薄膜封装层、电容上极板和矩形电感线圈层、氧化铝薄膜介质层、电容的下极板层和作为基底的聚酰亚胺层。所述聚酰亚胺基底上沉积有电容下极板，所述电容下极板上沉积氧化铝薄膜介质层，所述氧化铝薄膜介质层上沉积有电容上极板和电感线圈，且电容上极板位于电感线圈的中心处，电容上极板和电感线圈上沉积有耐高温氧化铝薄膜封装层，所述氧化铝薄膜介质层上设有用于实现电容下极板和电感线圈电连接的通孔。本发明选用聚酰亚胺柔性材料作基底，可以完全附着于异形构件表面，在大型装备工作中不易受振脱落，能够实现异形构件表面振动参数的动态精准测量。
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公开(公告)号：CN110230031B
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：CN201910571554.X
申请日：2019-06-28
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种宽频带无源耐高温柔性振动传感器，所述的传感器自上而下分为五层，分别是耐高温氧化铝薄膜封装层、电容上极板和矩形电感线圈层、氧化铝薄膜介质层、电容的下极板层和作为基底的聚酰亚胺层。所述聚酰亚胺基底上沉积有电容下极板，所述电容下极板上沉积氧化铝薄膜介质层，所述氧化铝薄膜介质层上沉积有电容上极板和电感线圈，且电容上极板位于电感线圈的中心处，电容上极板和电感线圈上沉积有耐高温氧化铝薄膜封装层，所述氧化铝薄膜介质层上设有用于实现电容下极板和电感线圈电连接的通孔。本发明选用聚酰亚胺柔性材料作基底，可以完全附着于异形构件表面，在大型装备工作中不易受振脱落，能够实现异形构件表面振动参数的动态精准测量。
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